近日，國產高純電子化學品材料龍頭廠商多氟多新材料股份有限公司(以下簡稱“多氟多”)發(fā)布公告，公司在經過臺積電(南京)有限公司南京工廠(以下簡稱“臺積電南京廠”)現場審核和多輪上線測試后，目前正式進入臺積電合格供應商體系，并于近期開始向臺積電南京廠批量交付高純電子化學品材料。
據了解，此次多氟多打入臺積電供應鏈的材料為高純電子級氫氟酸。
什么是電子級氫氟酸?
高純電子化學品又稱濕電子化學品，品種類繁多，比如氫氟酸、光刻膠、氟化聚酰胺等，應用廣泛，是微電子、光電子濕法工藝制程中使用的各種電子化工材料。
超凈高純試劑一般要求塵埃顆粒粒徑控制在 0.5?m 以下，雜質含量低于ppm 級(10-6 為 ppm，10-9 為 ppb，是 10-12為 ppt)的化學試劑，是化學試劑中對顆粒粒徑控制、雜質含量要求最高的試劑。
目前廣泛運用于半導體、太陽能硅片、LED 和平板顯示等電子元器件的清洗和蝕刻等工藝環(huán)節(jié)。
電子級氫氟酸是高純電子化學品當中的一種，主要用于去除氧化物，在半導體、太陽能光伏板和液晶顯示器制造過程當中被大量使用。其中，半導體制造是電子級氫氟酸的最大應用市場，約占氫氟酸總消耗量47.3%。
在半導體制造過程中，電子級氫氟酸主要用于晶圓表面清洗、芯片加工過程的清洗和腐蝕等。
資料顯示，在半導體制程中，有50多個環(huán)節(jié)需要使用高純度電子氟化氫，足見其重要性。不過，相對于其他領域的應用來說，半導體制造對于電子級氫氟酸的品質和純度要求也更高。
國產電子級氫氟酸已進入國際一流水平
據多氟多董事長李世江介紹說，多氟多在超凈高純電子化學品的研發(fā)生產過程中，突破了工藝技術、分析檢測技術、超凈化處理技術、包裝容器的清洗技術及標準化技術等關鍵技術，所生產的電子級氫氟酸品質達到UP-SSS級(G5級別)，產品純度達到PPT級，是目前半導體用電子級氫氟酸的最高級別，能夠滿足目前最先進工藝制程對材料的要求，處于國際一流水平。
而根據國際半導體設備與材料組織(SEMI)成立的 SEMI 化學試劑標準委員會，對世界濕電子化學品的等級的標準劃分來看，主要劃分為 SEMI G1 至 SEMI G5級。
在各應用領域的產品標準有所不同，光伏一般只需要 G1 級水平;顯示面板和 LED 對濕電子化學品的等級要求一般為 G2、G3 水平;半導體制造對濕電子化學品的純度要求較高，基本集中在 G3以上水平，晶圓尺寸越大對純度要求越高，12 英寸晶圓制造一般要求 G4 以上，即G5級;分立器件對濕電子化學品純度的要求低于芯片制造，基本集中在 G2級。
據不完全統計，我國電子級氫氟酸生產廠家有11家左右，但是能夠達到半導體所用G4級及以上的企業(yè)僅多氟多、中巨芯(原巨化股份)、濱化股份、興發(fā)集團四家左右。而能夠供應12英寸晶圓使用需求的超凈高純電子級氫氟酸，即G5級別(UP-SSS)電子級氫氟酸的，目前似乎只有多氟多一家。
鑒于全球晶圓代工龍頭臺積電對于材料的嚴格要求，此次多氟多成功打入臺積電南京12英寸晶圓廠(主要生產16/12nm制程芯片)的G5級電子級氫氟酸產品已達到了國際一流水平。
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