當(dāng)前位置:首頁 > 工業(yè)控制 > 工業(yè)控制
[導(dǎo)讀]摘要:EL6249C是美國Elantec半導(dǎo)體公司推出的四通道激光二極管電流放大器。文中根據(jù)頻閃成像原理,利用EL6249C設(shè)計(jì)了一套頻閃驅(qū)動(dòng)電路,該驅(qū)動(dòng)電路可驅(qū)動(dòng)高亮LEC,以產(chǎn)生MEMS動(dòng)態(tài)測試中所需的頻閃光,為后續(xù)MEMS器件

摘要:EL6249C是美國Elantec半導(dǎo)體公司推出的四通道激光二極管電流放大器。文中根據(jù)頻閃成像原理,利用EL6249C設(shè)計(jì)了一套頻閃驅(qū)動(dòng)電路,該驅(qū)動(dòng)電路可驅(qū)動(dòng)高亮LEC,以產(chǎn)生MEMS動(dòng)態(tài)測試中所需的頻閃光,為后續(xù)MEMS器件的動(dòng)態(tài)特性提取和分析做準(zhǔn)備。 關(guān)鍵詞:MEMS EL6249C 動(dòng)態(tài)測試 頻閃 1 引言 微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的新興學(xué)科。由于它與傳統(tǒng)機(jī)械系統(tǒng)相比,具有可大批量生產(chǎn)、成本低、功耗小、集成化等一系列顯著的優(yōu)點(diǎn),近十年來得到了迅速的發(fā)展。隨著MEMS從研究階段逐漸步入產(chǎn)業(yè)化階段,其對(duì)測試系統(tǒng)的需求也越來越迫切。特別是對(duì)動(dòng)態(tài)特性的測試技術(shù),這是因?yàn)镸EMS的動(dòng)態(tài)特性決定了MEMS器件的基本性能;而且MEMS微結(jié)構(gòu)三維微運(yùn)動(dòng)情況、材料屬性及機(jī)械力學(xué)參數(shù)、MEMS可靠性與器件失效模式、失效機(jī)理等關(guān)鍵問題均可通過MEMS動(dòng)態(tài)測試技術(shù)加以解決;同時(shí),通過動(dòng)態(tài)測試技術(shù),還可以研究一系列相關(guān)的基礎(chǔ)理論問題。因此,MEMS動(dòng)態(tài)測試技術(shù)近年來得到了國內(nèi)外許多MEMS研究機(jī)構(gòu)的高度重視。


由于許多MEMS器件的運(yùn)動(dòng)頻率都比較高,一般在50~500kHz左右,甚至更高。在這種情況下,如果用攝像機(jī)在連續(xù)光照下采集高速運(yùn)動(dòng)的MEMS器件的運(yùn)動(dòng)圖像,


由于CCD的曝光時(shí)間一般需要30ms,因此,最終得到的圖像是模糊的。這樣不能正確反映MEMS器件在某一個(gè)位置的運(yùn)動(dòng)情況。為了能夠采集到高速運(yùn)動(dòng)的MEMS器件的清晰運(yùn)動(dòng)圖像,筆者引用了頻閃成像技術(shù),同時(shí)利用這個(gè)技術(shù)捕獲到了MEMS器件運(yùn)動(dòng)時(shí)瞬間的清晰圖像。在通過頻閃成像技術(shù)得到一系列不同時(shí)刻不同相位的MEMS器件運(yùn)動(dòng)的清晰圖像后,筆者采用機(jī)器微視覺技術(shù)(如塊匹配或光流法)來對(duì)它們進(jìn)行分析處理,從而得到MEMS器件的運(yùn)動(dòng)特性。頻閃成像技術(shù)的關(guān)鍵問題之一是如何產(chǎn)生頻閃成像所需的頻閃光。選用EL6249C驅(qū)動(dòng)高亮LED產(chǎn)生所需的頻閃光后,就可以利用頻閃照明原理來采集高速運(yùn)動(dòng)的MEMS器件的清晰圖像,從而為后續(xù)MEMS器件動(dòng)態(tài)特性的提取和分析做充分地準(zhǔn)備。下面具體介紹頻閃成像的原理、EL6249C的基本功能及其在MEMS動(dòng)態(tài)測試中的具體運(yùn)用。 2 頻閃成像原理 運(yùn)動(dòng)MEMS器件的運(yùn)動(dòng)頻率都相當(dāng)高,一般在50~500kHz左右。為了利用機(jī)器微視覺技術(shù)對(duì)高速運(yùn)動(dòng)的MEMS器件的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)進(jìn)行描述,可引入頻閃成像技術(shù)。頻閃成像技術(shù)來自頻閃效應(yīng)原理。所謂頻閃效應(yīng),就是物體在人的視野中消失后能留一定時(shí)間的視覺印象,即視后效。視后效的持續(xù)時(shí)間,在物體一般光度條件下約在1/5~1/20s的范圍內(nèi)。如果來自被觀察物體的視覺刺激信號(hào)是一個(gè)跟一個(gè)的信號(hào),每兩次間隔都少于1/20s,則視覺來不及消失,從而給人以連貫的假象。此時(shí),如果用一閃一閃的光來照明周期運(yùn)動(dòng)的MEMS器件,則在MEMS器件的運(yùn)動(dòng)頻率與閃光頻率相等時(shí),就相當(dāng)于閃光燈“凍結(jié)”在某個(gè)位置上,這樣,通過多次曝光即可得到MEMS器件在此相位的清晰圖像。圖1所示為頻閃成像原理。假設(shè)要采集高速運(yùn)動(dòng)的MEMS器件零相位時(shí)的清晰圖像,首先可用函數(shù)發(fā)生器來產(chǎn)生照明所需的窄脈沖信號(hào),此信號(hào)的周期與MEMS器件的驅(qū)動(dòng)信號(hào)相同且在零相位保持同步。即每個(gè)周期內(nèi)高電平的位置應(yīng)與MEMS驅(qū)動(dòng)信號(hào)的零相位位置一致。只有這樣才能捕捉到MEMS器件零相位時(shí)的運(yùn)動(dòng)圖像。為了使照明的效果進(jìn)一步優(yōu)化,照明信號(hào)高電平的時(shí)間應(yīng)為100ns~1000ns。這樣,利用這一照明信號(hào)并通過頻閃驅(qū)動(dòng)電路來驅(qū)動(dòng)高亮度LED以便使其發(fā)出足夠強(qiáng)度的光照,就可以使CCD在零相位多次曝光,從而最終得到所需的固定圖像。


從頻閃成像原理可以看出,為了能夠采集到高速運(yùn)動(dòng)的MEMS器件在不同運(yùn)動(dòng)相位、不同驅(qū)動(dòng)頻率下的清晰圖像,需要設(shè)計(jì)一個(gè)頻閃照明電路。因?yàn)槌上竦暮脡闹苯佑绊懙胶罄m(xù)MEMS器件運(yùn)動(dòng)特性的提取與分析,所以它對(duì)LED有很高的要求。首先要有足夠的強(qiáng)度,且對(duì)其穩(wěn)定性、可控性也有較高的要求。本文選用LuxeoTM Star的LED來滿足應(yīng)用需求。實(shí)際上,要讓LED發(fā)出頻閃成像所需的頻閃光,通常還需要進(jìn)一步設(shè)計(jì)頻閃驅(qū)動(dòng)電路。為此,筆者以EL6249C作為驅(qū)動(dòng)LuxeoTM Star發(fā)光的驅(qū)動(dòng)芯片設(shè)計(jì)了一個(gè)簡單可靠地頻閃照明電路。3 EL6249C的基本工作原理 EL6249C是一個(gè)四通道的激光二極管電流放大器。它采用QSOP封裝形式,其引腳排列如圖2所示。各個(gè)引腳的功能如表1所列。 表1 EL6249C的引腳說明 引腳號(hào)符 號(hào)名 稱功 能 及 用 法 13 GND 輸入級(jí)地端接供電電源VCC地 9 VCC 輸入級(jí)工作電源端供電電源,為抗干擾,該端應(yīng)接去耦網(wǎng)絡(luò) 14 IOUT 輸出級(jí)電流供給激光二極管的輸出電流 1,2,4,5 IIN 輸入級(jí)電流供給放大器的輸入電流 6,7,8 OUTEN 輸出控制端輸出電流的數(shù)字控制端(OUTEN Low=No) IOUT,不能懸空 11 ENABLE 電路使能端 ENABLE Low=No IOUT,不能懸空 3 RFREQ 振蕩頻率控制端接外部電阻來設(shè)置振蕩器的振蕩頻率 12 RAMP 振蕩幅度控制端接外部電阻來設(shè)置振蕩器的振蕩幅度 10 OSCEN 振蕩器控制端 OSCEN Low=Oscillator Off 當(dāng)EL6249C工作時(shí),它可以提供受控的電流給激光二極管。四個(gè)通道之和作為IOUT的輸出,從而允許用戶創(chuàng)建多級(jí)波形以優(yōu)化激光二極管的性能。輸出電流的級(jí)數(shù)由模擬電壓施加一個(gè)外部電阻來設(shè)置。通常該電阻可以將電壓轉(zhuǎn)換成電流輸入到IIN管腳,然后這個(gè)管腳上的電流再經(jīng)內(nèi)部電路放大后由IOUT輸出,以驅(qū)動(dòng)激光二極管發(fā)光。 EL6249C片內(nèi)還有一個(gè)500MHz的振蕩器。當(dāng)輸出電流為讀模式時(shí),可以對(duì)其進(jìn)行調(diào)制。當(dāng)引腳OSCEN為高時(shí),振蕩器被使能。如果通道2、3、4都未激活,則振蕩器關(guān)閉。振蕩器幅度和頻率的控制可由兩個(gè)外部電阻與管腳RFREQ和RAMP相連來設(shè)置。 EL6249C的內(nèi)部結(jié)構(gòu)如圖3所示。電路中輸出電流的級(jí)數(shù)由管腳OUTEN2、OUTEN3和OUTEN4的高低電平共同決定;片內(nèi)振蕩器的使能則由管腳OSCEN、OUTEN2、OUTEN3和OUTEN4的高電平來使能;管腳ENABLE則用于控制整個(gè)電路的使能。EN-ABLE為高電平時(shí),整個(gè)電路才能正常工作,但應(yīng)注意,該腳不能懸空。 圖4給出了EL6249C的一種典型應(yīng)用電路。在該電路的運(yùn)行過程中,由于高電流值需要快速地on/off切換,所以保證電源供應(yīng)的有效去耦非常重要。在切換過程中,VCC承受著極大的瞬態(tài)電流,因此應(yīng)該給VCC去耦,并將激光二極管的陰極與去耦電容以一個(gè)短路徑相連。由于導(dǎo)線的電感,即使選用一個(gè)非常好的旁路電容也會(huì)受到響應(yīng)限制,因此有必要在電源旁放置一個(gè)電感,并且在電感旁接一個(gè)去耦電容來防止供應(yīng)線上的切換電流產(chǎn)生的電磁干擾。


4 EL6249C在MEMS測試中的應(yīng)用 根據(jù)頻閃成像原理,為了采集到MEMS器件高速運(yùn)動(dòng)時(shí)的清晰圖像,本文選用EL6249C作為驅(qū)動(dòng)芯片來驅(qū)動(dòng)高亮度激光二極管發(fā)光,并利用函數(shù)發(fā)生器產(chǎn)生頻率與MEMS運(yùn)動(dòng)頻率相同的窄脈沖信號(hào),同時(shí)用其作為EL6249C的控制信號(hào),然后設(shè)置合適的外接電阻以使EL6249C輸出適當(dāng)?shù)碾娏鱽眚?qū)動(dòng)LED發(fā)出所需的頻閃光。圖5為筆者設(shè)計(jì)的頻閃照明電路原理圖。 在本電路中,為了保證供電電壓穩(wěn)定在所需的5V上,筆者選用了MAX8869,這樣可以更好地提高整個(gè)電路的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。


5 結(jié)論 本文從MEMS動(dòng)態(tài)測試的需求出發(fā),根據(jù)頻閃成像原理,利用EL6249C作為驅(qū)動(dòng)芯片來驅(qū)動(dòng)高亮度激光二極管發(fā)出頻閃光,以便采集高速運(yùn)動(dòng)的MEMS器件在不同相位不同頻率下的清晰圖像,從而為后續(xù)MEMS器件運(yùn)動(dòng)特性的提取與分析做充分地準(zhǔn)備。實(shí)驗(yàn)證明,此設(shè)計(jì)是行之有效的。

本站聲明: 本文章由作者或相關(guān)機(jī)構(gòu)授權(quán)發(fā)布,目的在于傳遞更多信息,并不代表本站贊同其觀點(diǎn),本站亦不保證或承諾內(nèi)容真實(shí)性等。需要轉(zhuǎn)載請(qǐng)聯(lián)系該專欄作者,如若文章內(nèi)容侵犯您的權(quán)益,請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系本站刪除。
換一批
延伸閱讀

9月2日消息,不造車的華為或?qū)⒋呱龈蟮莫?dú)角獸公司,隨著阿維塔和賽力斯的入局,華為引望愈發(fā)顯得引人矚目。

關(guān)鍵字: 阿維塔 塞力斯 華為

倫敦2024年8月29日 /美通社/ -- 英國汽車技術(shù)公司SODA.Auto推出其旗艦產(chǎn)品SODA V,這是全球首款涵蓋汽車工程師從創(chuàng)意到認(rèn)證的所有需求的工具,可用于創(chuàng)建軟件定義汽車。 SODA V工具的開發(fā)耗時(shí)1.5...

關(guān)鍵字: 汽車 人工智能 智能驅(qū)動(dòng) BSP

北京2024年8月28日 /美通社/ -- 越來越多用戶希望企業(yè)業(yè)務(wù)能7×24不間斷運(yùn)行,同時(shí)企業(yè)卻面臨越來越多業(yè)務(wù)中斷的風(fēng)險(xiǎn),如企業(yè)系統(tǒng)復(fù)雜性的增加,頻繁的功能更新和發(fā)布等。如何確保業(yè)務(wù)連續(xù)性,提升韌性,成...

關(guān)鍵字: 亞馬遜 解密 控制平面 BSP

8月30日消息,據(jù)媒體報(bào)道,騰訊和網(wǎng)易近期正在縮減他們對(duì)日本游戲市場的投資。

關(guān)鍵字: 騰訊 編碼器 CPU

8月28日消息,今天上午,2024中國國際大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)開幕式在貴陽舉行,華為董事、質(zhì)量流程IT總裁陶景文發(fā)表了演講。

關(guān)鍵字: 華為 12nm EDA 半導(dǎo)體

8月28日消息,在2024中國國際大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)上,華為常務(wù)董事、華為云CEO張平安發(fā)表演講稱,數(shù)字世界的話語權(quán)最終是由生態(tài)的繁榮決定的。

關(guān)鍵字: 華為 12nm 手機(jī) 衛(wèi)星通信

要點(diǎn): 有效應(yīng)對(duì)環(huán)境變化,經(jīng)營業(yè)績穩(wěn)中有升 落實(shí)提質(zhì)增效舉措,毛利潤率延續(xù)升勢 戰(zhàn)略布局成效顯著,戰(zhàn)新業(yè)務(wù)引領(lǐng)增長 以科技創(chuàng)新為引領(lǐng),提升企業(yè)核心競爭力 堅(jiān)持高質(zhì)量發(fā)展策略,塑強(qiáng)核心競爭優(yōu)勢...

關(guān)鍵字: 通信 BSP 電信運(yùn)營商 數(shù)字經(jīng)濟(jì)

北京2024年8月27日 /美通社/ -- 8月21日,由中央廣播電視總臺(tái)與中國電影電視技術(shù)學(xué)會(huì)聯(lián)合牽頭組建的NVI技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟在BIRTV2024超高清全產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展研討會(huì)上宣布正式成立。 活動(dòng)現(xiàn)場 NVI技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)...

關(guān)鍵字: VI 傳輸協(xié)議 音頻 BSP

北京2024年8月27日 /美通社/ -- 在8月23日舉辦的2024年長三角生態(tài)綠色一體化發(fā)展示范區(qū)聯(lián)合招商會(huì)上,軟通動(dòng)力信息技術(shù)(集團(tuán))股份有限公司(以下簡稱"軟通動(dòng)力")與長三角投資(上海)有限...

關(guān)鍵字: BSP 信息技術(shù)
關(guān)閉
關(guān)閉