長期可靠性的問題,比如電子遷移(EM)失效機制,歷來屬于晶圓廠的處理范疇。但隨著納米設(shè)計中可靠性實現(xiàn)的愈加困難,對設(shè)計人員而言,不能再把問題扔給制造甩手不管了。設(shè)計領(lǐng)域也必須做出努力以獲得更具有魯棒性的版圖。
電流密度過高導(dǎo)致金屬原子逐漸置換,這時就會產(chǎn)生電子遷移問題。當(dāng)很長時間內(nèi)在同一個方向有過多電流流過時,在互連線上會開始形成空洞(Void,原子耗盡時出現(xiàn))和小丘(hillock,原子積聚時產(chǎn)生)。足夠多的原子被置換后,會產(chǎn)生斷路或短路。當(dāng)小丘觸及鄰近的互連線時,短路出現(xiàn),從而引起芯片失效。
減少電子遷移的方法之一是提取互連的寄生阻抗,并把它輸入到一個仿真工具中,計算流經(jīng)每根金屬線的電流。利用互連每一部分的寬度信息,就有可能計算電流密度并由低到高進行分類。然后生成一個彩色圖覆蓋在版圖上,由此標注出電流密度最高的各個區(qū)域。
首先處理電流密度最高的區(qū)域,可以加寬互連金屬線,增加通孔,降低電流密度。
一旦對版圖做了修改,設(shè)計人員可以再進行一次寄生阻抗提取,重新仿真結(jié)果。通過這種方法,應(yīng)該可以看到造成電子遷移的電流密度有所下降。
應(yīng)該:
1.執(zhí)行EM分析,確認存在EM問題的金屬線。在最終版圖上執(zhí)行寄生阻抗提取,再把寄生阻抗值,以及該部分的寬度和位置等信息輸入到一個仿真工具中。仿真生成一個電流密度圖,覆蓋在最初的版圖上。
2.執(zhí)行寄生阻抗提取時,考慮到金屬寬度的變化。許多晶圓廠都提供寄生阻抗提取時的這種變化的建模機制。
3.考慮到提取時的厚度變化。金屬厚度的變化會引起寄生阻抗值的變化,故必須考慮在內(nèi)。
4.執(zhí)行仿真,計算整個芯片版圖的電流密度。對每一層,確定電流密度閾值,以便獲得對應(yīng)用產(chǎn)品來說可接受的平均失效時間。
5.加寬電流密度過高的金屬線。
6.在版圖上進行通孔雙置(VIA doubling)以減少寄生阻抗,從而減小電流密度。
7.重新執(zhí)行寄生阻抗提取、仿真和可視化,以觀察版圖修正是否已降低了最嚴重區(qū)域的電流密度。如果版圖修正已把電流密度降至一個可接受的程度,設(shè)計就算完成了。
不應(yīng)該:
1.遺漏EM分析的執(zhí)行。若未經(jīng)檢測,會引起性能下降,以后可能導(dǎo)致芯片失效。
2.把金屬填充任務(wù)扔給晶圓廠做。金屬填充很重要,能夠提高設(shè)計的平面性,而且,如果正確完成的話,還可以把厚度變化降至最小。
3.執(zhí)行無厚度和寬度變化的寄生阻抗提取。這會讓提取產(chǎn)生錯誤,導(dǎo)致電流密度計算的錯誤。
4.在增加金屬填料之前就通過厚度計算執(zhí)行寄生提取。正確的步驟是首先插入金屬填料,再改變寬度和厚度來執(zhí)行提取。
5.不采用通孔雙置。由于應(yīng)力遷移(Stress migration)可能導(dǎo)致通孔中沉積的金屬更少,這會增大不良通孔中的阻抗,使電流密度更高。
6.使用平坦仿真引擎(flat simulation engine)。利用分層架構(gòu)將大幅度改善仿真時間,減少內(nèi)存使用。
7.計算電流密度時忽略晶體管效應(yīng)。由于流經(jīng)一個網(wǎng)格的電流量取決于寄生參數(shù)及相關(guān)元件,故在執(zhí)行EM分析時進行晶體管級的仿真是很重要的。