小電流測量 噪聲和源阻抗

DUT的源阻抗會影響SMU的反饋安培計的噪聲性能。當(dāng)源電阻減小時，安培計的噪聲增益將增大。圖20所示為反饋安培計的簡化模型。

在該電路中：

RS=源電阻

CS=源電容

VS=源電壓

VNOISE=安培計的噪聲電壓

圖20.反饋安培計的簡化模型

RF=反饋電阻

CF=反饋電容

電路的噪聲增益可由下式給出：

請注意，當(dāng)源電阻(RS)減小時，輸出噪聲增大。由于降低源電阻會對噪聲性能產(chǎn)生不利影響，所以在表1中根據(jù)電流測量量程給出了最小推薦源電阻值。

表1.最小推薦源電阻值

DUT的源電容也會影響SMU的噪聲性能。一般情況下，源電容增大時，噪聲增益也隨之增大。盡管最大

源電容值存在限值，但是通過連接一個電阻或正偏二極管與DUT串聯(lián)，通常能夠在更高的源電容值下進行測量。二極管作為一個可變電阻，當(dāng)源電容的充電電流為高時，其阻值很小，然后隨著電流的減小而增大。