小電流測量偏移補(bǔ)償

在確定并減小外部誤差后，如果可能的話，可將測試系統(tǒng)的內(nèi)部和外部偏移從將來的測量結(jié)果中減去。首先，如上所述，在輸入戴有金屬帽的情況下對(duì)SMU進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)。然后，確定每個(gè)SMU至探針的偏移。利用軟件中的公式計(jì)算器工具，可將該平均偏移從隨后的電流測量結(jié)果中減去。為了進(jìn)行極低電流的測量，應(yīng)定期重新測量平均偏移電流(至少每月一次)。

結(jié)論

當(dāng)配備可選的吉時(shí)利4200-PA型遠(yuǎn)程前置放大器時(shí)，4200-SCS型半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)可準(zhǔn)確測量pA級(jí)或更小的電流。應(yīng)通過測量整個(gè)測量系統(tǒng)的偏移電流來確定系統(tǒng)的限制，必要時(shí)進(jìn)行調(diào)節(jié)?？刹捎靡恍┘夹g(shù)減小測量誤差源，例如屏蔽、保護(hù)、儀器的正確接地，以及在KITE軟件中選擇合適的設(shè)置，包括留有足夠的建立時(shí)間。吉時(shí)利的低電平測量手冊(cè)提供了關(guān)于優(yōu)化低電平測量技術(shù)的更多信息。

更多參考
Keithley Instruments，4200-SCS型參考手冊(cè)，第5章(含在系統(tǒng)軟件中)
Keithley Instruments，低電平測量手冊(cè)，2004年第6版。