保護是由一個低阻源驅動的導體,其輸出為或接近高阻端子的電勢。保護端子用于保護測試夾具和電纜絕緣電阻和電容。保護是三軸連接器/電纜的芯屏蔽,如圖10所示。
圖10. 4200三軸連接器/電纜的導體
請勿混淆保護和屏蔽。屏蔽通常意味著采用金屬護欄防止靜電干擾影響高阻電路。保護則意味著使用增加的低阻導體,將其維持在于高阻電路相同的電勢,它將攔截任何干擾電壓或電流。保護不一定提供屏蔽。下圖
為保護的兩個例子:1)利用保護降低測試夾具導致的漏流,而2)則利用保護降低由于電纜連接產(chǎn)生的漏流。
圖11所示為保護消除可能會通過測試夾具內隔離絕緣體的原理。在圖11a中,漏流(IL)通過隔離絕緣體(RL)。該漏流增加至來自于DUT (IDUT),然后被SMU安培計測得(IM),對小電流測量的準確度造成不利影響。
圖11.利用保護減小測試夾具中的漏流
在圖11b中,金屬安裝板被連接至SMU的保護端子。隔離絕緣體頂部和底部的電壓接近相同電勢(0V壓降),所以在隔離絕緣體中就不會有漏流影響測量準確度。由于金屬安裝板將處于保護電勢,所以為安全起見,金屬屏蔽必須連接至地。