小電流測量漏流和保護(hù)II
在保護(hù)電路中,三軸電纜的內(nèi)芯屏蔽被連接至SMU的保護(hù)端子?,F(xiàn)在,該屏蔽由一個(gè)單位增益低阻放大器(保護(hù))驅(qū)動(dòng)。Force HI端子和保護(hù)端子之間的電勢差接近0V,所以漏流(IL)可忽略不計(jì)。
圖12.利用保護(hù)減小電纜連接中的漏流
為了查看測量極高電阻時(shí)三軸電纜和同軸電纜的結(jié)果,圖13中繪出了采用10V階躍函數(shù)測量100GΩ電阻的測量電流和時(shí)間的關(guān)系圖。三軸電纜通過使用保護(hù),以兩種方式改善了測量:1)它減小了有效電纜電容,從而降低了測量的RC時(shí)間常數(shù)或建立時(shí)間;2)防止電纜中的漏流對測量準(zhǔn)確度造成不利影響。
圖13.使用同軸電纜和三軸電纜測量高阻的結(jié)果比較
從圖13可知,利用帶有保護(hù)的三軸電纜進(jìn)行測量,漏流較小(低幾個(gè)pA),建立時(shí)間更短(大約快10倍)。如果SMU必須連接至采用BNC連接器的測試夾具,請?jiān)赟MU和測試夾具之間使用吉時(shí)利三軸電纜,然后再將BNC連接至三軸適配器(去掉了保護(hù)),從而將電纜連接至測試夾具。