關(guān)于mems傳感器的不同種類及其特性解析，你了解嗎？

在科學(xué)技術(shù)高度發(fā)達(dá)的今天，各種各樣的高科技出現(xiàn)在我們的生活中，為我們的生活帶來(lái)便利，那么你知道這些高科技可能會(huì)含有的mems傳感器嗎?

mems傳感器研究現(xiàn)狀

1、微機(jī)械壓力傳感器

微機(jī)械壓力傳感器是最早研制的微機(jī)械產(chǎn)品，也是微機(jī)械技術(shù)中最成熟、最早實(shí)現(xiàn)工業(yè)化的產(chǎn)品。從信號(hào)檢測(cè)方式來(lái)看，微機(jī)械壓力傳感器分為壓阻型和電容型，分別基于體微加工技術(shù)和犧牲層技術(shù)制造。從敏感膜的結(jié)構(gòu)來(lái)看，有圓形、方形、矩形、E形等多種結(jié)構(gòu)。壓阻式壓力傳感器精度可達(dá)0.05%～0.01%，年穩(wěn)定性可達(dá)0.1%/FS，溫度誤差0.0002%，耐壓可達(dá)數(shù)百M(fèi)Pa，過(guò)壓保護(hù)范圍可達(dá)20倍 的傳感器范圍。并且可以在很寬的范圍內(nèi)進(jìn)行全溫度補(bǔ)償。

2、微加速度傳感器

硅微加速度傳感器是繼微壓力傳感器之后第二個(gè)進(jìn)入市場(chǎng)的微機(jī)械傳感器。主要類型是壓阻式、電容式、力平衡式和諧振式。最吸引人的是力平衡加速度計(jì)。其典型產(chǎn)品是Kuehnel等人報(bào)道的AGXL50型。1994年我國(guó)在微加速度傳感器的研制方面也做了大量工作，如西安電子科技大學(xué)研制的壓阻式微加速度傳感器、清華大學(xué)微電子研制的諧振式微加速度傳感器等。后者采用電阻熱激勵(lì)和壓阻電橋檢測(cè)。它的敏感結(jié)構(gòu)是一個(gè)高度對(duì)稱的4角支撐質(zhì)量。在質(zhì)量塊的四個(gè)側(cè)面和支撐框架之間制作了四個(gè)共振梁，用于信號(hào)檢測(cè)。

3、微機(jī)械陀螺

角速度一般用陀螺儀測(cè)量。傳統(tǒng)陀螺儀是利用高速旋轉(zhuǎn)物體的特性來(lái)保持其角動(dòng)量來(lái)測(cè)量角速度的。這種陀螺儀精度高，但結(jié)構(gòu)復(fù)雜，使用壽命短，成本高。一般只用于導(dǎo)航，在一般運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)中難以應(yīng)用。事實(shí)上，如果不受成本的限制，角速度傳感器在汽車牽引控制系統(tǒng)、攝像頭穩(wěn)定系統(tǒng)、醫(yī)療儀器、軍用儀器、運(yùn)動(dòng)機(jī)械、計(jì)算機(jī)慣性鼠標(biāo)、軍事等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。常見的微機(jī)械角速度傳感器有雙萬(wàn)向節(jié)結(jié)構(gòu)、懸臂梁結(jié)構(gòu)、音叉結(jié)構(gòu)、振環(huán)結(jié)構(gòu)等。

4、微流量傳感器

微流量傳感器不僅體積小，可以達(dá)到很低的測(cè)量水平，而且死區(qū)容量小，響應(yīng)時(shí)間短，適用于微流體的精密測(cè)量和控制。目前，國(guó)內(nèi)外研究的微流量傳感器按其工作原理可分為熱式(包括熱傳導(dǎo)式和熱飛行時(shí)間式)、機(jī)械式和共振式。清華大學(xué)精密儀器系設(shè)計(jì)的閥板微流量傳感器通過(guò)閥板將流量轉(zhuǎn)化為梁表面的彎曲應(yīng)力，再通過(guò)集成在閥板上的壓敏電橋檢測(cè)流量信號(hào).該傳感器芯片尺寸為3.5mm×3.5mm，在10ml～200ml/min的氣體流量下線性度優(yōu)于5%。

5、微氣體傳感器

根據(jù)材料的不同，微型氣體傳感器分為硅基氣體傳感器和硅微型氣體傳感器。其中，前者以硅為基板，敏感層為非硅材料，是目前微型氣體傳感器的主流。微型氣體傳感器可以滿足人們對(duì)氣體傳感器集成化、智能化、多功能化的要求。例如，許多氣體傳感器的靈敏度與工作溫度密切相關(guān)，因此必須同時(shí)制作加熱元件和溫度檢測(cè)元件來(lái)監(jiān)測(cè)和控制溫度。MEMS技術(shù)可以輕松地將氣體傳感器和溫度檢測(cè)元件組合在一起，確保氣體傳感器的卓越性能。諧振式氣體傳感器不需要加熱器件，輸出信號(hào)為頻率量，是硅微氣體傳感器發(fā)展的重要方向之一。

6、微機(jī)械溫度傳感器

與傳統(tǒng)傳感器相比，微機(jī)械傳感器具有體積小、重量輕的特點(diǎn)，其固有熱容量?jī)H為10J/K～10J/K，在測(cè)溫方面具有傳統(tǒng)溫度傳感器不可比擬的優(yōu)勢(shì)。研制了硅/二氧化硅雙層微懸臂溫度傳感器?；诠韬投趸璧臒崤蛎浵禂?shù)不同，梁在不同溫度下的撓度是不同的，其變形可以通過(guò)位于梁根部的壓敏電橋來(lái)檢測(cè)。 非線性誤差為0.9%，滯后誤差為0.45%，重復(fù)性誤差為1.63%，準(zhǔn)確度為1.9%。

以上就是mems傳感器的一些值得大家學(xué)習(xí)的詳細(xì)資料解析，希望在大家剛接觸的過(guò)程中，能夠給大家一定的幫助，如果有問題，也可以和小編一起探討。