EUV能成就中國(guó)芯之夢(mèng)嗎？

中興通訊受美國(guó)政府制裁一案，為大陸高端芯片的自主拉起警報(bào)，大陸自官方到民間無(wú)不立刻加大芯片研發(fā)的投資力度。日前有消息指，長(zhǎng)江存儲(chǔ)與中芯國(guó)際在近日突破海外封鎖，先后從荷蘭艾司摩爾(ASML)公司訂購(gòu)了兩臺(tái)總值近兩億美元的高端光刻機(jī)。

光刻機(jī)又稱曝光機(jī)，是芯片制程最關(guān)鍵步驟“光刻”的核心機(jī)器。ASML則是全球高端光刻機(jī)的霸主，在該領(lǐng)域擁有全球90%的市占率。

每日經(jīng)濟(jì)新聞網(wǎng)報(bào)導(dǎo)，長(zhǎng)江存儲(chǔ)從ASML訂購(gòu)的一臺(tái)光刻機(jī)已抵達(dá)武漢，這臺(tái)光刻機(jī)價(jià)值7，200萬(wàn)美元。此外，外傳中芯國(guó)際也向ASML訂購(gòu)一臺(tái)價(jià)值高達(dá)1.2億美元的EUV(極紫外線)光刻機(jī)，預(yù)計(jì)于2019年初交貨。

由于國(guó)際間有個(gè)“瓦圣納協(xié)定”，該協(xié)定禁止向非締約國(guó)出售敏感性高科技技術(shù)，其中包括向大陸出售高端光刻機(jī)技術(shù)，前述兩筆交易因而引人注目。但報(bào)導(dǎo)指，ASML發(fā)言人向日經(jīng)新聞駁斥該傳聞，表示該公司對(duì)全球各地包括大陸客戶一視同仁，對(duì)大陸晶圓廠商的出口不受協(xié)定限制。

美國(guó)政府4月中宣布，禁止美國(guó)公司向中興通訊出售包括芯片等零組作后，外界普遍認(rèn)為芯片將成為大陸科技崛起的致命傷。

業(yè)界專家指出，中芯國(guó)際在市場(chǎng)上仍落后于領(lǐng)先者兩至三代技術(shù)，購(gòu)買(mǎi)到目前最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)，雖然不能保證100%成功，但至少顯示該公司自主研發(fā)的決心和動(dòng)力。該光刻機(jī)一旦安裝完成，將會(huì)大幅縮短工藝時(shí)程，并讓廠商有能力嘗試生產(chǎn)更復(fù)雜的高精度芯片。

上月26日，國(guó)家主席習(xí)近平到武漢視察時(shí)表示，要加快在芯片技術(shù)上取得重大突破。隨后即有消息傳，國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金(俗稱大基金)已接近完成1，200億元人民幣(下同)的二期募資，預(yù)計(jì)該筆資金將有更大比例的金額投入芯片設(shè)計(jì)等環(huán)節(jié)。