1883 年,全球首臺恒溫器正式上市,一個名為 Warren S. Johnson 的發(fā)明者創(chuàng)造了它。這款恒溫器能夠將溫度保持在一定程度的精確度,就是利用了傳感器和傳感技術,在當時看來,是非常厲害的一項技術。
到了 20 世紀 40 年代末,第一款紅外傳感器問世。隨后,許許多多的傳感器不斷被催生出來,直到現在,全球大概有 35000 種以上的傳感器,數量和用途上非常繁雜,可以說,現在是傳感器和傳感技術最為火熱的一個時期。
1987 年,ADI(亞德諾半導體)開始投入全新的傳感器研發(fā),這種傳感器與其他不太一樣,名叫 MEMS 傳感器,是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點。而 ADI 是業(yè)界最早做 MEMS 研發(fā)的公司。
1991 年,ADI 發(fā)布了業(yè)界第一顆 High-g MEMS 器件,主要用于汽車安全氣囊碰撞監(jiān)測。而后眾多 MEMS 傳感器被廣泛研發(fā),用在手機、電燈、水溫檢測等精密儀器上,截止到 2010 年,全世界有大約 600 余家單位從事 MEMS 的研制和生產工作。
隨著云計算、5G、大數據、AI 技術以及物聯網技術的爆發(fā),智能傳感器和智能傳感技術逐漸被提及起來,大量的可穿戴式設備中含有多種生物以及環(huán)境智能感應器,用以采集人體及環(huán)境參數,實現對穿戴者運動健康的管理,其傳感器更高的精度使得設備更加可靠。