MEMS傳感器的發(fā)展現(xiàn)狀如何?未來的新趨勢是什么?

微流量傳感器不僅外形尺寸小,能達(dá)到很低的測量量級,而且死區(qū)容量小,響應(yīng)時(shí)間短,適合于微流體的精密測量和控制。