InvenSense開發(fā)出4mm見方的數(shù)字輸出陀螺儀

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美國InvenSense開發(fā)出了雙軸陀螺儀傳感器（角速度傳感器）的新產(chǎn)品。封裝尺寸為4mm×4mm×0.9mm，輸出為數(shù)字信號。該產(chǎn)品適用于800萬以上像素手機(jī)相機(jī)的手抖動(dòng)補(bǔ)償。采用200mm晶圓量產(chǎn)，以確保量產(chǎn)規(guī)模，同時(shí)還能夠大幅降低成本。

角速度傳感器是繼加速度傳感器之后出現(xiàn)的另一種有望面向手機(jī)大量供貨的MEMS元件。InvenSense率先向市場投放了硅型產(chǎn)品，并以此開拓了消費(fèi)電子產(chǎn)品市場。目前，全球最大的消費(fèi)電子產(chǎn)品用MEMS傳感器供應(yīng)商意法半導(dǎo)體（STMicroelectronics）也上市了角速度傳感器，兩公司一同供貨之后，預(yù)計(jì)角速度傳感器市場將進(jìn)一步擴(kuò)大。

此次，InvenSense在角速度傳感器中內(nèi)置了16bit的A-D轉(zhuǎn)換器，使其可與I2C及SPI等接口直接相連，從而縮小了配備于手機(jī)時(shí)的安裝面積。除了手機(jī)之外，預(yù)計(jì)還將配備于數(shù)碼相機(jī)。此次沿用了該公司量產(chǎn)原產(chǎn)品時(shí)采用的制造工藝（“Nasiri工藝”），該工藝可在低溫條件下使CMOS芯片和MEMS芯片實(shí)現(xiàn)金屬與金屬的接合。封裝采用QFN，將于09年10月開始樣品供貨。