重大突破！我國研制出單片集成全硅發(fā)光器件

據(jù)科技日報報道，電子科技大學徐開凱課題組借助標準硅IC工藝研制出單片集成的全硅發(fā)光器件，實現(xiàn)基于PN結(jié)級聯(lián)的高效多晶硅光源。

這項技術(shù)的意義在于，取得了全硅半導體光電器件與集成技術(shù)領(lǐng)域的新突破。

據(jù)電子科技大學全硅半導體光電器件與集成技術(shù)研究小組相關(guān)負責人介紹，依托電子薄膜與集成器件國家重點實驗室等，與中國電子科技集團重慶聲光電有限公司等單位合作，嘗試通過引入多晶硅材料全面替代單晶硅材料，載流子注入工程與器件結(jié)構(gòu)設(shè)計實現(xiàn)優(yōu)勢互補，實現(xiàn)了一種相對高效的多晶硅光源，其PN結(jié)級聯(lián)之器件結(jié)構(gòu)也為實現(xiàn)高頻調(diào)制奠定了技術(shù)基礎(chǔ)?；谏鲜鲅芯?，課題組趙建明及研究團隊同學還實現(xiàn)了基于PN結(jié)結(jié)構(gòu)之載流子注入回路，這一基于硅傳感器的載流子注入之電光回路未來有望應用于包括激光雷達、毫米波雷達等在內(nèi)的諸多感知設(shè)備中。

芯片級硅基光電子集成技術(shù)，具有體積小、功耗低、穩(wěn)定性高、成本低等特點，是當今半導體光電器件與集成技術(shù)中最有前景的主流技術(shù)之一。硅基光電子器件與CMOS工藝兼容也正令光電子器件的大規(guī)模集成成為可能。