惠普向第三方授權(quán)納米壓印光刻技術(shù)
加州Nanolithosolutions公司日前獲得了惠普實(shí)驗(yàn)室授權(quán)的一項(xiàng)納米壓印光刻技術(shù),該技術(shù)可用于生產(chǎn)線寬只有15納米的電路板原型。
對(duì)此,公司首席執(zhí)行官Bo Pi稱:“利用惠普的該項(xiàng)技術(shù),我們可以從事生物芯片、光子芯片,以及相關(guān)應(yīng)用的研究。”
利用惠普的新技術(shù),Nanolithosolutions已經(jīng)開(kāi)發(fā)出一套工具。該款工具包含一個(gè)模塊和掩模對(duì)準(zhǔn)器,可用于創(chuàng)建基片上的晶體管模式。
據(jù)悉,該款工具簡(jiǎn)單易用,成本低廉,可以將普通的掩模對(duì)準(zhǔn)器變成高分辨率的納米壓印光刻機(jī)。