Crossing Automation進軍18寸半導(dǎo)體制造

時間：2011-10-08 11:45:56

關(guān)鍵字： AUTOMATION 半導(dǎo)體制造 CROSSING SPARTAN

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[導(dǎo)讀]晶圓廠與機臺自動化供應(yīng)商CrossingAutomationInc.日前推出18寸晶圓分類機——Spartan450，並宣布這臺全新分類機已接獲一半導(dǎo)體領(lǐng)導(dǎo)業(yè)者訂單。此平臺預(yù)估將于2012年第一季出貨。CrossingAutomation的Spartan450分類機

晶圓廠與機臺自動化供應(yīng)商CrossingAutomationInc.日前推出18寸晶圓分類機——Spartan450，並宣布這臺全新分類機已接獲一半導(dǎo)體領(lǐng)導(dǎo)業(yè)者訂單。此平臺預(yù)估將于2012年第一季出貨。

CrossingAutomation的Spartan450分類機為市場首批專門生產(chǎn)18寸晶圓的大型分類機。它融合所有關(guān)鍵功能以與制造執(zhí)系統(tǒng)(MES)接合，進而啟用全方位晶圓管理。它初期鎖定22奈米技術(shù)節(jié)點，可縮小至7奈米節(jié)點。全新分類機的設(shè)計采用經(jīng)生產(chǎn)驗證的Crossing12寸Spartan平臺，至今已有逾1,000個系統(tǒng)應(yīng)用在高產(chǎn)量的制造上。

與12寸Spartan相同，18寸分類機以單機、整合單位設(shè)計，可更快達成機臺安裝與工具連結(jié)，移動更簡便，提高靈活性，加速極致生產(chǎn)率。

Gartner研究總監(jiān)SamuelTuanWang指出：“18寸晶圓對半導(dǎo)體廠商深具吸引力，因為整個矽晶表面部分及其良率均較小尺寸的晶圓來得大。近幾年來，12寸晶圓發(fā)展蓬勃，已取代8寸晶圓，成為晶圓技術(shù)的主流。由12寸晶圓邁入18寸晶圓將使晶片生產(chǎn)力加倍，且半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)將有機會持續(xù)茁壯成長。”