蘇州高新區(qū)將建MEMS工程技術研究中心

蘇報訊（記者　周建越）昨天，位于高新區(qū)的中國兵器工業(yè)集團第二一四研究所與清華大學、東南大學、蘇州大學簽署“MEMS工程技術研究中心”戰(zhàn)略合作框架協(xié)議。

“MEMS”是指微小尺度機械電氣系統(tǒng)，主要包括微型機構、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及相應的專用集成電路等幾部分，通常尺度為微米級。MEMS技術是在融合多種微納米量級加工技術以及集成電路工藝技術基礎上發(fā)展起來的一種新型多學科交叉的前沿技術，其重要的應用載體是微慣性測量單元它以體積小、價格低、高可靠等優(yōu)點而廣泛應用于汽車電子、生物醫(yī)學、常規(guī)彈藥制導化等軍民領域。

中國兵器工業(yè)集團第二一四研究所，是蘇州最早引進的大院大所之一，為建立MEMS器件與組件自主創(chuàng)新研發(fā)平臺，打破國外封鎖與壟斷，二一四所將聯(lián)合清華大學、東南大學、蘇州大學共同開展MEMS慣性器件研發(fā)。合作方向將包括：MEMS新理論、新技術、新工藝研究；MEMS 新產品開發(fā)和工程化研制；MEMS產業(yè)化發(fā)展研究與模式探索；MEMS技術和產品應用研究與市場推廣等。

通過本次簽約，合作各方將進一步優(yōu)化資源配置、提升創(chuàng)新能力，大力發(fā)展MEMS在軍民兩個領域的應用，以更好地服務地方經濟，實現(xiàn)各方的合作共贏。