日本產(chǎn)綜研利用MEMS技術(shù)實(shí)現(xiàn)靜電傳感器的小型化

日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所開發(fā)出了基于MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）技術(shù)的靜電傳感器，并在“日本Nano Micro Business展”（東京有明國(guó)際會(huì)展中心，7月5日閉幕）上進(jìn)行了展示。

        
試制系統(tǒng) （點(diǎn)擊放大）       

 傳感器模塊（左下）和傳感器部分（右下） （點(diǎn)擊放大）
       傳感器部分安裝有借助懸臂懸浮的微小電極。帶靜電荷的物體靠近傳感器后，微小電極的電位就會(huì)發(fā)生變化，根據(jù)這一變化就能測(cè)出靜電容量。試制的傳感器部分的尺寸約為數(shù)mm見方，可輕松實(shí)現(xiàn)陣列化。使用實(shí)現(xiàn)了陣列化的傳感器，還能測(cè)量靜電的表面分布。

       為了準(zhǔn)確測(cè)量，需要振動(dòng)懸臂，使靜電容量發(fā)生周期性變化。懸臂利用PZT的致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)。試制器件在200mm的晶圓上形成，PZT用溶膠-凝膠法成膜。（記者：三宅 常之，Tech-On?。?