Rolith和SUSS MicroTec宣布安裝第2代納米光刻工具
[導(dǎo)讀]2013年3月7日，高級(jí)納米結(jié)構(gòu)涂層和設(shè)備研發(fā)企業(yè)Rolith, Inc.宣布成功安裝 由Rolith, Inc. 獨(dú)家授權(quán)SUSS MicroTec AG建造的第 2 代納米結(jié)構(gòu)原型工具 – RML-2 工具。此原型基于 Rolith, Inc. 開發(fā)的具有顛覆性的納米光
2013年3月7日，高級(jí)納米結(jié)構(gòu)涂層和設(shè)備研發(fā)企業(yè)Rolith, Inc.宣布成功安裝 由Rolith, Inc. 獨(dú)家授權(quán)SUSS MicroTec AG建造的第 2 代納米結(jié)構(gòu)原型工具 – RML-2 工具。此原型基于 Rolith, Inc. 開發(fā)的具有顛覆性的納米光刻技術(shù)（滾動(dòng)掩模光刻 – RMLTM）。該工具允許用戶在高達(dá)1m x 0.3 m的大面積基底材料上以高吞吐量和具有成本效益的方式創(chuàng)建納米結(jié)構(gòu) 。
高吞吐量和低成本納米圖案化技術(shù)的實(shí)現(xiàn)能夠幫助可再生能源、電子產(chǎn)品和綠色建筑市場(chǎng)提高產(chǎn)品性能并帶來更多創(chuàng)新產(chǎn)品。高效率太陽能電池板、高亮度 LED、防炫目手機(jī)和電視屏幕以及低輻射玻璃窗只是 RML 技術(shù)可實(shí)現(xiàn)的部分高級(jí)產(chǎn)品一部分示例。Rolith 具有國際專利的技術(shù)基于利用了柱形滾動(dòng)掩模的近場(chǎng)光刻技術(shù)專利實(shí)施。這一掩模由 Rolith 制造，并可為滿足特定的客戶應(yīng)用需求而量身定制。子波長(zhǎng)分辨率通過相位移干涉效果或電漿子增強(qiáng)打印結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)。連續(xù)的滾動(dòng)掩模光刻技術(shù)可以低成本提供高吞吐量。
RML-2 工具提升了 2011 年構(gòu)建的第 1 代工具 RML-1 的最初功能。RML-2 可使用傳送帶樣式的基底處理器處理 1m 長(zhǎng)的玻璃板、多個(gè)更小的玻璃板或半導(dǎo)體晶片。此外，RML 工藝對(duì)基底不平整度有很高的接納性，這一點(diǎn)對(duì)建筑玻璃窗或藍(lán)寶石 LED 晶片的處理非常有利。
迄今，RML-2 工具已在加利福尼亞普萊森頓Rolith 設(shè)施和日本東京Asahi Glass 公司研發(fā)設(shè)施上成功安裝并取得資質(zhì)。Rolith 正繼續(xù)尋找更多的聯(lián)合開發(fā)伙伴,實(shí)現(xiàn)其各種納米結(jié)構(gòu)技術(shù)應(yīng)用的商業(yè)化。
Rolith 創(chuàng)辦者兼 CEO Boris Kobrin 博士說:“對(duì)于我們?nèi)鹿饪碳夹g(shù)理念開發(fā)的進(jìn)展,我們感到非常高興。現(xiàn)在，隨著第 2 代 Rolith 光刻工具的投入使用，我們可以有效應(yīng)對(duì)來自多種行業(yè)對(duì)這一技術(shù)快速增長(zhǎng)的興趣?！?。
SüSS MicroTec AG 總裁兼 CEO Frank Averdung 先生說：“Rolith創(chuàng)新的光學(xué)納米光刻技術(shù)和我們的解決方案一起實(shí)現(xiàn)了對(duì)極小結(jié)構(gòu)的印刷。連續(xù)的滾動(dòng)掩模技術(shù)為我們的客戶在大基地的處理提供了全新的功能，”
AGC America, Inc. 總經(jīng)理 Hiroshi Usui 先生說：“這種工藝允許我們?cè)诖竺娣e上創(chuàng)建納米結(jié)構(gòu)并在各種市場(chǎng)中應(yīng)用?！?br>
Rolith 公司運(yùn)用獨(dú)有的納米光刻技術(shù)，為家用電子產(chǎn)品、太陽能市場(chǎng)和綠色建筑市場(chǎng)生產(chǎn)高級(jí)納米結(jié)構(gòu)產(chǎn)品。Rolith 由 Boris Kobrin 博士、Mark Brongersma 教授以及 Julian Zegelman 及教授于2008年創(chuàng)立，目前公司位于加州普萊桑頓。公司在納米光刻、物質(zhì)沉積和蝕刻方法以及納米光電子設(shè)備領(lǐng)域持有全面的專利組合。Rolith 的戰(zhàn)略合作伙伴包括 SUSS MicroTec AG 和 Asahi Glass Company Ltd.。公司當(dāng)前的投資者包括 Draper Fisher Jurvetson 的附屬基金 DFJ VTB Capital Aurora（由 VTB Capital 負(fù)責(zé)管理），以及 Asahi Glass Group 的附屬風(fēng)投公司 AGC America 。
SUSS MicroTec 是半導(dǎo)體行業(yè)和相關(guān)市場(chǎng)中設(shè)備和工業(yè)解決方案的領(lǐng)先提供商。通過與研發(fā)機(jī)構(gòu)和行業(yè)合作伙伴的密切合作，SUSS MicroTec 對(duì)下一代技術(shù)進(jìn)步貢獻(xiàn)頗豐，例如 3D 集成和納米光刻以及 MEMS 和 LED 制造的重要工藝。借助應(yīng)用和服務(wù)的全球基礎(chǔ)架構(gòu)，SUSS MicroTec 為全球超過 8,000 套已安裝的系統(tǒng)提供支持。SUSS MicroTec 的總部位于德國慕尼黑附近的加興。
以旭硝子玻璃公司（Asahi）為其核心的旭硝子集團(tuán)(AGC)，是建筑、汽車、顯示屏、化學(xué)及其他高性能材料和組件的全球解決方案提供商。在一個(gè)多世紀(jì)的技術(shù)創(chuàng)新的基礎(chǔ)上，旭硝子集團(tuán)已在玻璃、化學(xué)品和陶瓷領(lǐng)域開發(fā)出世界一流的核心技術(shù)。
高吞吐量和低成本納米圖案化技術(shù)的實(shí)現(xiàn)能夠幫助可再生能源、電子產(chǎn)品和綠色建筑市場(chǎng)提高產(chǎn)品性能并帶來更多創(chuàng)新產(chǎn)品。高效率太陽能電池板、高亮度 LED、防炫目手機(jī)和電視屏幕以及低輻射玻璃窗只是 RML 技術(shù)可實(shí)現(xiàn)的部分高級(jí)產(chǎn)品一部分示例。Rolith 具有國際專利的技術(shù)基于利用了柱形滾動(dòng)掩模的近場(chǎng)光刻技術(shù)專利實(shí)施。這一掩模由 Rolith 制造，并可為滿足特定的客戶應(yīng)用需求而量身定制。子波長(zhǎng)分辨率通過相位移干涉效果或電漿子增強(qiáng)打印結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)。連續(xù)的滾動(dòng)掩模光刻技術(shù)可以低成本提供高吞吐量。
RML-2 工具提升了 2011 年構(gòu)建的第 1 代工具 RML-1 的最初功能。RML-2 可使用傳送帶樣式的基底處理器處理 1m 長(zhǎng)的玻璃板、多個(gè)更小的玻璃板或半導(dǎo)體晶片。此外，RML 工藝對(duì)基底不平整度有很高的接納性，這一點(diǎn)對(duì)建筑玻璃窗或藍(lán)寶石 LED 晶片的處理非常有利。
迄今，RML-2 工具已在加利福尼亞普萊森頓Rolith 設(shè)施和日本東京Asahi Glass 公司研發(fā)設(shè)施上成功安裝并取得資質(zhì)。Rolith 正繼續(xù)尋找更多的聯(lián)合開發(fā)伙伴,實(shí)現(xiàn)其各種納米結(jié)構(gòu)技術(shù)應(yīng)用的商業(yè)化。
Rolith 創(chuàng)辦者兼 CEO Boris Kobrin 博士說:“對(duì)于我們?nèi)鹿饪碳夹g(shù)理念開發(fā)的進(jìn)展,我們感到非常高興。現(xiàn)在，隨著第 2 代 Rolith 光刻工具的投入使用，我們可以有效應(yīng)對(duì)來自多種行業(yè)對(duì)這一技術(shù)快速增長(zhǎng)的興趣?！?。
SüSS MicroTec AG 總裁兼 CEO Frank Averdung 先生說：“Rolith創(chuàng)新的光學(xué)納米光刻技術(shù)和我們的解決方案一起實(shí)現(xiàn)了對(duì)極小結(jié)構(gòu)的印刷。連續(xù)的滾動(dòng)掩模技術(shù)為我們的客戶在大基地的處理提供了全新的功能，”
AGC America, Inc. 總經(jīng)理 Hiroshi Usui 先生說：“這種工藝允許我們?cè)诖竺娣e上創(chuàng)建納米結(jié)構(gòu)并在各種市場(chǎng)中應(yīng)用?！?br>
Rolith 公司運(yùn)用獨(dú)有的納米光刻技術(shù)，為家用電子產(chǎn)品、太陽能市場(chǎng)和綠色建筑市場(chǎng)生產(chǎn)高級(jí)納米結(jié)構(gòu)產(chǎn)品。Rolith 由 Boris Kobrin 博士、Mark Brongersma 教授以及 Julian Zegelman 及教授于2008年創(chuàng)立，目前公司位于加州普萊桑頓。公司在納米光刻、物質(zhì)沉積和蝕刻方法以及納米光電子設(shè)備領(lǐng)域持有全面的專利組合。Rolith 的戰(zhàn)略合作伙伴包括 SUSS MicroTec AG 和 Asahi Glass Company Ltd.。公司當(dāng)前的投資者包括 Draper Fisher Jurvetson 的附屬基金 DFJ VTB Capital Aurora（由 VTB Capital 負(fù)責(zé)管理），以及 Asahi Glass Group 的附屬風(fēng)投公司 AGC America 。
SUSS MicroTec 是半導(dǎo)體行業(yè)和相關(guān)市場(chǎng)中設(shè)備和工業(yè)解決方案的領(lǐng)先提供商。通過與研發(fā)機(jī)構(gòu)和行業(yè)合作伙伴的密切合作，SUSS MicroTec 對(duì)下一代技術(shù)進(jìn)步貢獻(xiàn)頗豐，例如 3D 集成和納米光刻以及 MEMS 和 LED 制造的重要工藝。借助應(yīng)用和服務(wù)的全球基礎(chǔ)架構(gòu)，SUSS MicroTec 為全球超過 8,000 套已安裝的系統(tǒng)提供支持。SUSS MicroTec 的總部位于德國慕尼黑附近的加興。
以旭硝子玻璃公司（Asahi）為其核心的旭硝子集團(tuán)(AGC)，是建筑、汽車、顯示屏、化學(xué)及其他高性能材料和組件的全球解決方案提供商。在一個(gè)多世紀(jì)的技術(shù)創(chuàng)新的基礎(chǔ)上，旭硝子集團(tuán)已在玻璃、化學(xué)品和陶瓷領(lǐng)域開發(fā)出世界一流的核心技術(shù)。
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