18寸晶圓14奈米研發(fā)人員　進(jìn)駐臺(tái)大竹北分部校區(qū)

臺(tái)大土木系「高科技廠房設(shè)施研究中心」研發(fā)人員將于5月中旬進(jìn)駐竹北分部校區(qū)臺(tái)灣半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及相關(guān)產(chǎn)業(yè)，預(yù)期將在3至5年內(nèi)進(jìn)入18寸(450mm)晶圓之量產(chǎn)及14奈米之制程。這種具前瞻性的大幅發(fā)展，不但將提升臺(tái)灣在國(guó)際間的競(jìng)爭(zhēng)力，促使臺(tái)灣其他產(chǎn)業(yè)技術(shù)之升級(jí)，增益臺(tái)灣地區(qū)的經(jīng)濟(jì)成長(zhǎng)，同時(shí)，也將使臺(tái)灣擁有更卓越領(lǐng)先的國(guó)際科技地位，甚至成為許多國(guó)家仿效的基準(zhǔn)楷模。
由于廠房設(shè)施的設(shè)計(jì)建造，也是半導(dǎo)體晶圓制造不可或缺的先決條件之一，為了從廠房設(shè)施的角度，協(xié)助臺(tái)灣半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及相關(guān)產(chǎn)業(yè)提升到18寸晶圓之量產(chǎn)及14奈米之制程，臺(tái)灣大學(xué)土木系「高科技廠房設(shè)施研究中心」，特在臺(tái)大竹北分部成立18寸晶圓14奈米研發(fā)團(tuán)隊(duì)。首批研發(fā)人員將于5月中旬進(jìn)駐，展開(kāi)研發(fā)實(shí)驗(yàn)工作。
進(jìn)駐之18寸晶圓14奈米研發(fā)人員，將針對(duì)空氣分子污染(Airborne Molecular Contamination,AMC)、微振動(dòng)(Microvibration) 、電磁波干擾(Electro-Magnetic Interference, EMI)、綠廠房(Green Fab)、廠房資訊模型及模擬(Fab Information Modeling, FIM)等等先進(jìn)關(guān)鍵技術(shù)深入研究探討。
臺(tái)大竹北分部的18寸晶圓14奈米研發(fā)團(tuán)隊(duì)系跨領(lǐng)域的組合，成員將包括來(lái)自機(jī)械、土木、電機(jī)、環(huán)工、化工、工業(yè)工程、化學(xué)、物理、材料、生物，藥劑等等不同院系之教授、學(xué)者、專家及博碩士研究生。這個(gè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)將由臺(tái)大土木系張陸滿教授(如下圖，翻攝自臺(tái)大土木系網(wǎng)頁(yè))負(fù)責(zé)整合協(xié)調(diào)。

張陸滿教授系新竹湖口張六和宗族之子孫。在1974到1977年間服務(wù)于工研院，曾負(fù)責(zé)工研院頭重埔中興院區(qū)的規(guī)劃監(jiān)造，并是當(dāng)年第一批被工研院派赴美國(guó)RCA公司取經(jīng)的30多位人士之一，吸取建廠經(jīng)驗(yàn)后，返回協(xié)助電子研究中心設(shè)計(jì)建造臺(tái)灣第一座積體電路示范工廠。爾后，張教授即赴美深造，并曾先后在美國(guó)佛羅里達(dá)大學(xué)的建筑學(xué)院營(yíng)建系任教2年半及普渡大學(xué)土木工程系營(yíng)建工程管理組任教23年。