Crossing Automation進(jìn)軍18寸半導(dǎo)體制造

晶圓廠與機(jī)臺(tái)自動(dòng)化供應(yīng)商 Crossing Automation Inc. 日前推出18寸晶圓分類機(jī)—— Spartan 450 ，并宣布這臺(tái)全新分類機(jī)已接獲一半導(dǎo)體領(lǐng)導(dǎo)業(yè)者訂單。此平臺(tái)預(yù)估將于 2012 年第一季出貨。
Crossing Automation 的 Spartan 450 分類機(jī)為市場(chǎng)首批專門生產(chǎn) 18 寸晶圓的大型分類機(jī)。它融合所有關(guān)鍵功能以與制造執(zhí)行系統(tǒng) (MES) 接合，進(jìn)而啟用全方位晶圓管理。它初期鎖定 22 奈米技術(shù)節(jié)點(diǎn)，可縮小至 7 奈米節(jié)點(diǎn)。全新分類機(jī)的設(shè)計(jì)采用經(jīng)生產(chǎn)驗(yàn)證的 Crossing 12 寸 Spartan 平臺(tái)，至今已有逾 1,000 個(gè)系統(tǒng)應(yīng)用在高產(chǎn)量的制造上。

與 12 寸 Spartan 相同，18 寸分類機(jī)以單機(jī)、整合單位設(shè)計(jì)，可更快達(dá)成機(jī)臺(tái)安裝與工具連結(jié)，移動(dòng)更簡便，提高靈活性，加速極致生產(chǎn)率。

Gartner 研究總監(jiān) Samuel Tuan Wang 指出 ：「18 寸晶圓對(duì)半導(dǎo)體廠商深具吸引力，因?yàn)檎麄€(gè)矽晶表面部分及其良率均較小尺寸的晶圓來得大。近幾年來，12 寸晶圓發(fā)展蓬勃，已取代 8 寸晶圓，成為晶圓技術(shù)的主流。由 12 寸晶圓邁入 18 寸晶圓將使晶片生產(chǎn)力加倍，且半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)將有機(jī)會(huì)持續(xù)茁壯成長?！?br>