Crossing Automation推出優(yōu)化真空晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)

Crossing Automation推出為真空晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)所提供的自動化部件模塊產(chǎn)品系列ExpressConnectTM。其neutral approach的結(jié)構(gòu)取代了大部分集束型設(shè)備常見的傳統(tǒng)集中化晶圓搬運(yùn)設(shè)計(jì)，并且可減少20-70%的所占空間，具有更高的彈性、更低的成本、更高的生產(chǎn)力和吞吐量高達(dá)每小時250片晶圓。ExpressConnect由5種基本部件所組成，其目的在于為晶圓自動化產(chǎn)生無限的設(shè)定組合。其系統(tǒng)架構(gòu)使用簡單的線性移轉(zhuǎn)裝置和簡化的控制算法以提升效率與控制可靠度。Crossing提供數(shù)種不同基本架構(gòu)的ExpressConnect模塊子系統(tǒng)，以作為工具層級晶圓自動化的標(biāo)準(zhǔn)基礎(chǔ)，提供真空搬運(yùn)系統(tǒng)與其管理，讓設(shè)備制造商能夠在自己的制程工具當(dāng)中重新全面掌控上游與下游的參數(shù)。

Crossing Automation，www.crossinginc.com