三星正在研究10nm工藝:終上極紫外光刻
三星的下一步是14nm FinFET(立體晶體管),去年底就已經(jīng)取得重大突破,完成了測(cè)試樣品、設(shè)計(jì)基礎(chǔ)設(shè)施的準(zhǔn)備工作,還有ARM、Cadence、Mentor、Synopsys等眾多合作伙伴的支持。
不過(guò)時(shí)至今日,三星也沒(méi)有披露14nm具體會(huì)在什么時(shí)候量產(chǎn),有消息稱(chēng)要到2015年初,Exynos 6就等它了。
再往后,10nm技術(shù)也正在按計(jì)劃研發(fā)之中,并會(huì)繼續(xù)使用FinFET,還會(huì)初步嘗試使用極紫外光刻(EUV),和業(yè)內(nèi)步調(diào)一致。
此外,Intel、臺(tái)積電、GlobalFoundries也都在積極推進(jìn)10nm技術(shù)的研發(fā),屆時(shí)還有可能用上450毫米大晶圓。