Gigaphoton將LPP EUV光源輸出端最大等效功率提升至20W級別

Gigaphoton公司18日宣布已經成功將LPP EUV光源產品的輸出端等效最大功率推進到了20W水平。該公司達成這個目標所使用的方法是，使用固態(tài)預脈沖激光器，100khz頻率的CO2激光來轟擊錫靶標。采用這種方法，該公司在光源運行過程中達成了平均 10W水平的輸出功率。由于目前普遍認可的預生產型商用EUV光源輸出功率級別正好在10W左右，因此Gigaphoton公司此次的成果標志著預生產極 EUV光源發(fā)展過程中的一個新里程碑。


Gigaphoton公司自2002年起便專注于高輸出功率，經濟型LPP光源的研發(fā)。幾年來該公司研發(fā)出了許多相關的技術，包括錫液滴尺寸低于20um水平的按需式錫液滴生成技術，以及融合了短波長固態(tài)預脈沖激光器技術，CO2激光技術，以及磁場式雜質消除技術在內的LPP EUV激光光源技術。
Gigaphoton透露，與這款LPP光源技術相關的信息將在本月24-28日召開的SPIE2013高級光刻技術年會(SPIE Advanced Lithography 2013)上公開，這次年會將在美國加州圣何塞市召開。