北方微電子 高端微電子裝備國(guó)產(chǎn)化的實(shí)踐者

微電子>北方微電子自2001年10月成立以來(lái)，就肩負(fù)發(fā)展民族產(chǎn)業(yè)之重任，以推進(jìn)高端微電子裝備國(guó)產(chǎn)化為使命，通過(guò)實(shí)施國(guó)家科技重大專項(xiàng)，實(shí)現(xiàn)了我國(guó)高端集成電路裝備的技術(shù)提升，同時(shí)積極向節(jié)能環(huán)保、新能源等新興戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)拓展。
2011年10月29日，微電子>北方微電子 “成立十周年暨新廠房落成”慶典在其亦莊新址隆重舉行?；顒?dòng)由國(guó)家02科技重大專項(xiàng)實(shí)施管理辦公室主任梁勝主持，北京市市委常委、常務(wù)副市長(zhǎng)吉林、北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)管委會(huì)主任張伯旭、國(guó)家02科技重大專項(xiàng)領(lǐng)導(dǎo)小組辦公室主任戴國(guó)強(qiáng)、總體專家組組長(zhǎng)葉甜春、北京電子控股有限責(zé)任公司董事長(zhǎng)、黨委書(shū)記兼微電子>北方微電子公司董事長(zhǎng)王巖等領(lǐng)導(dǎo)，以及用戶、供應(yīng)商、合作單位等400余位嘉賓出席慶典，共賀微電子>北方微電子成立十周年暨新廠房落成。
張伯旭主任、葉甜春組長(zhǎng)、戴國(guó)強(qiáng)主任分別致辭，對(duì)微電子>北方微電子在十五、十一五期間取得的顯著成績(jī)表示祝賀，并表達(dá)了對(duì)微電子>北方微電子未來(lái)發(fā)展的美好祝愿和堅(jiān)定信心。華虹NEC副總裁雷海波、上海藍(lán)光副總裁劉理想等用戶代表在會(huì)上發(fā)言，高度認(rèn)可與微電子>北方微電子公司的合作，繼續(xù)攜手并進(jìn)共創(chuàng)未來(lái)。
吉林副市長(zhǎng)表示，北京會(huì)繼續(xù)加大對(duì)微電子領(lǐng)域高新技術(shù)發(fā)展的扶持力度。同時(shí)，要求微電子>北方微電子抓住機(jī)遇，積極參與國(guó)內(nèi)外競(jìng)爭(zhēng)，不斷發(fā)展壯大，為我國(guó)高端微電子裝備的技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化做出新的貢獻(xiàn)。
10年來(lái)，微電子>北方微電子在多個(gè)技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了重大突破。
一、刻蝕機(jī)等產(chǎn)品的成功研制，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)4項(xiàng)空白，帶動(dòng)我國(guó)集成電路裝備研制水平的顯著提升
1)8英寸集成電路刻蝕機(jī)：國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白。國(guó)內(nèi)首臺(tái)進(jìn)入大生產(chǎn)線使用的8英寸集成電路核心工藝裝備，已成功銷(xiāo)往中芯國(guó)際、上海華虹、上海宏力、國(guó)家集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心等用戶，成為大生產(chǎn)線上的主力機(jī)臺(tái)，訂單累計(jì)1億元人民幣。
2)12英寸集成電路刻蝕機(jī)：國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白。國(guó)內(nèi)首臺(tái)進(jìn)入大生產(chǎn)線驗(yàn)證的12英寸集成電路核心工藝裝備，已完成主流生產(chǎn)線的工藝考核，主要工藝性能指標(biāo)達(dá)到國(guó)際同類(lèi)產(chǎn)品水平，已取得客戶批量采購(gòu)意向。
3)半導(dǎo)體照明刻蝕機(jī)：國(guó)際領(lǐng)先水平，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白。全球范圍內(nèi)首次將12英寸集成電路刻蝕工藝技術(shù)應(yīng)用于半導(dǎo)體照明領(lǐng)域，已實(shí)現(xiàn)對(duì)彩虹藍(lán)光、三安光電、中鎵半導(dǎo)體、同方光電、大連路明、湖南華磊、神光安瑞等主流客戶的銷(xiāo)售，2011年市場(chǎng)占有率超過(guò)50%(其中應(yīng)用于藍(lán)寶石圖形化襯底的刻蝕機(jī)市場(chǎng)占有率超過(guò)80%)，訂單累計(jì)1億元人民幣。
4)太陽(yáng)能光伏PECVD(等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)設(shè)備：國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白。設(shè)備采用平板式大產(chǎn)能設(shè)計(jì)，應(yīng)用多項(xiàng)集成電路核心技術(shù)，設(shè)備成膜的均勻性、減反射特性以及折射率等工藝技術(shù)指標(biāo)均達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，已取得生產(chǎn)線量產(chǎn)驗(yàn)證。
二、PVD設(shè)備、MOCVD設(shè)備研發(fā)進(jìn)展順利，產(chǎn)品創(chuàng)新不斷升級(jí)，帶動(dòng)本土企業(yè)擺脫國(guó)外壟斷，搶占產(chǎn)業(yè)制高點(diǎn)。
1)12英寸PVD(物理氣相沉積)設(shè)備：該產(chǎn)品由歸國(guó)海外專家、國(guó)內(nèi)首批“千人計(jì)劃”學(xué)者帶隊(duì)攻關(guān)，采用國(guó)際領(lǐng)先的設(shè)計(jì)理念，產(chǎn)品可應(yīng)用于銅制程工藝，目前已完成客戶產(chǎn)品工藝測(cè)試。該產(chǎn)品研制成功后，將打破國(guó)外廠商壟斷。該產(chǎn)品還可拓展應(yīng)用于半導(dǎo)體照明、TSV先進(jìn)封裝領(lǐng)域。
2)金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)設(shè)備：該產(chǎn)品國(guó)際領(lǐng)先的設(shè)計(jì)理念，一次可完成100片以上的2英寸芯片外延，產(chǎn)能是國(guó)外設(shè)備的2倍，已完成原理樣機(jī)的設(shè)計(jì)與組裝。該產(chǎn)品研制成功后，將大大提升我國(guó)半導(dǎo)體照明領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力。
微電子>北方微電子通過(guò)十年的發(fā)展，掌握了多項(xiàng)核心技術(shù)，截至2011年6月底，共計(jì)申請(qǐng)國(guó)內(nèi)專利700余件，其中發(fā)明專利697件，PCT申請(qǐng)49件。
今年，是微電子>北方微電子成立的第十個(gè)年頭。近日，公司研發(fā)的12英寸65nm高密度等離子刻蝕機(jī)通過(guò)中芯國(guó)際北京工廠生產(chǎn)線全線工藝驗(yàn)證，這標(biāo)志著繼成功攻克8英寸100nm刻蝕技術(shù)難關(guān)后，微電子>北方微電子在追趕國(guó)際領(lǐng)先集成電路裝備技術(shù)的道路上，又邁進(jìn)了一大步。
今年，微電子>北方微電子又承接了國(guó)家“十二五”《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》重大專項(xiàng)(02專項(xiàng))“32-22nm柵刻蝕機(jī)產(chǎn)品研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目、“45-22nm銅互連PVD設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目。
微電子>北方微電子董事長(zhǎng)王巖在致辭中表示，微電子>北方微電子將繼續(xù)以推進(jìn)高端微電子裝備國(guó)產(chǎn)化為使命，確保國(guó)家科技重大專項(xiàng)的完成，實(shí)現(xiàn)我國(guó)高端集成電路裝備的技術(shù)提升，同時(shí)將積極向節(jié)能環(huán)保、新能源等新興戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)拓展，爭(zhēng)取在更多技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破。