GT公布藍(lán)寶石材料質(zhì)量對(duì)LED影響的案例研究

時(shí)間：2011-10-11 09:59:34

關(guān)鍵字： LED 晶圓制造制造工藝 ADVANCED

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[導(dǎo)讀]GT Advanced Technologies Inc.日前公布了案例研究產(chǎn)量問(wèn)題：藍(lán)寶石材料質(zhì)量對(duì)LED晶圓工藝的影響。該報(bào)告詳述了一項(xiàng)盲型材料研究的發(fā)現(xiàn)，這項(xiàng)研究針對(duì)藍(lán)寶石材料質(zhì)量對(duì)高亮度LED即用型外延晶圓制造工藝的影響進(jìn)行了調(diào)

GT Advanced Technologies Inc.日前公布了案例研究產(chǎn)量問(wèn)題：藍(lán)寶石材料質(zhì)量對(duì)LED晶圓工藝的影響。該報(bào)告詳述了一項(xiàng)盲型材料研究的發(fā)現(xiàn)，這項(xiàng)研究針對(duì)藍(lán)寶石材料質(zhì)量對(duì)高亮度LED即用型外延晶圓制造工藝的影響進(jìn)行了調(diào)查。該研究表明，藍(lán)寶石材料質(zhì)量對(duì)LED晶圓產(chǎn)量有直接的影響，在接受測(cè)試的四家材料提供商中，GT高級(jí)藍(lán)寶石熔爐（ASFTM）藍(lán)寶石生長(zhǎng)材料能夠?qū)崿F(xiàn)最高的晶圓產(chǎn)量。
藍(lán)寶石材料和設(shè)備部門副總裁兼總經(jīng)理Cheryl Diuguid說(shuō)：GT為L(zhǎng)ED行業(yè)提供藍(lán)寶石已超過(guò)12年時(shí)間。我們啟動(dòng)這項(xiàng)評(píng)估項(xiàng)目是為了驗(yàn)證我們從材料客戶那里聽到的積極反饋--ASF藍(lán)寶石生長(zhǎng)材料擁有卓越質(zhì)量以及能夠?qū)A產(chǎn)量產(chǎn)生有利影響。晶圓產(chǎn)量對(duì)于晶圓制造商而言尤為重要，因?yàn)檫@對(duì)他們的經(jīng)濟(jì)產(chǎn)生了直接影響。數(shù)據(jù)表明，不同的藍(lán)寶石材料來(lái)源能夠使晶圓產(chǎn)量產(chǎn)生差異，而GT的ASF材料表現(xiàn)最好。
這項(xiàng)研究對(duì)來(lái)自GT ASF和其他三家藍(lán)寶石提供商的25件核心樣品進(jìn)行了評(píng)估。為了獲得公正的數(shù)據(jù)，GT與一家獨(dú)立的領(lǐng)先晶圓制造商進(jìn)行了合作，提供了盲型、沒(méi)有標(biāo)志的材料來(lái)源。采集的重要晶圓參數(shù)（能夠影響產(chǎn)量和成本）數(shù)據(jù)包括晶圓幾何參數(shù)（表面粗糙度、總厚度變動(dòng)、彎曲度和弧度）以及晶圓報(bào)廢率。
這份晶圓分析報(bào)告是由GT發(fā)起的一項(xiàng)更廣泛的材料特性項(xiàng)目的一部分，該項(xiàng)目旨在研究藍(lán)寶石材料特性對(duì)高亮度LED價(jià)值鏈的整個(gè)制造工藝的影響。