中國(guó)集成電路制造水平首次達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平

中新網(wǎng)北京3月3日電 (記者 孫自法)中國(guó)國(guó)家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”3日在北京發(fā)布其“十一五”所獲重要成果稱，在成套工藝方面，“65納米成套產(chǎn)品工藝”整體研發(fā)完成并進(jìn)入批量生產(chǎn)，使中國(guó)集成電路制造水平首次達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。
“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項(xiàng)實(shí)施以來，各項(xiàng)工作進(jìn)展順利，眾多課題取得突破性進(jìn)展：除“65納米成套產(chǎn)品工藝”使中國(guó)集成電路制造水平首次達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平外，在整機(jī)裝備、成套工藝和關(guān)鍵材料等方面，初步掌握一批制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心技術(shù)；在裝備整機(jī)方面，多臺(tái)12英寸關(guān)鍵整機(jī)產(chǎn)品及關(guān)鍵零部件實(shí)現(xiàn)突破，改變了長(zhǎng)期被國(guó)外公司壟斷的被動(dòng)局面。研制的12英寸65納米介質(zhì)刻蝕機(jī)產(chǎn)品已獲得中外批量訂單20臺(tái)；研制的12英寸65納米柵刻蝕機(jī)通過全部工藝驗(yàn)證。
目前，該重大專項(xiàng)各參與單位已累計(jì)申請(qǐng)專利4248件，研發(fā)成果實(shí)現(xiàn)銷售超過100億元人民幣，帶動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)增長(zhǎng)近千億元人民幣。業(yè)內(nèi)專家表示，這些成果的取得大大縮短了中國(guó)與發(fā)達(dá)國(guó)家和地區(qū)技術(shù)差距，將全面提升中國(guó)國(guó)內(nèi)眾多集成電路設(shè)計(jì)企業(yè)以及相關(guān)電子整機(jī)企業(yè)的綜合競(jìng)爭(zhēng)力。
當(dāng)天的發(fā)布會(huì)上還舉行“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項(xiàng)采購合同與合作協(xié)議簽約儀式，總計(jì)簽約集成電路高端制造裝備產(chǎn)品15臺(tái)(套)，封測(cè)裝備87臺(tái)(套)以及系列材料產(chǎn)品，合同金額10億元人民幣。(完)