MEMS技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域廣闊，助醫(yī)療設(shè)備更完善

MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)在動作、加速度、傾斜角以及振動等傳感器中應(yīng)用日益廣泛。目前，MEMS傳感器屬系統(tǒng)級封裝(SiP)解決方案，具有高分辨率、低功耗以及小尺寸等優(yōu)勢。
MEMS加速度計和陀螺儀可成功實(shí)現(xiàn)更多符合成本效益、采用動作感應(yīng)功能的設(shè)備。MEMS運(yùn)動傳感器為手機(jī)、MP3/MP4播放器、PDA或游戲機(jī)帶來更直觀的人機(jī)界面，把用戶手腕、手臂和手的動作與應(yīng)用程式、頁面內(nèi)部及頁面之間的瀏覽、游戲機(jī)中的人物動作等功能連接起來，實(shí)現(xiàn)真正的人機(jī)即時互動。
資料保護(hù)是MEMS傳感器在便攜設(shè)備中的另一種應(yīng)用。當(dāng)出現(xiàn)自由落體或者其它異常動作時，MEMS加速度計可即刻停止系統(tǒng)上全部硬盤驅(qū)動器(HDD)的讀寫操作，并且將硬盤驅(qū)動器上的讀寫頭固定到安全位置。此外，MEMS加速度計也廣泛用于整合洗衣機(jī)或干衣機(jī)等家電中，可作為振動檢測器，用于穩(wěn)定失衡的負(fù)荷，以防止機(jī)器產(chǎn)生過多不必要的磨損故障。
MEMS陀螺儀、角運(yùn)動傳感器、用于人機(jī)界面的輔助加速度傳感器，為游戲機(jī)和遙控器帶來更生動的用戶體驗(yàn)。陀螺儀可以提高數(shù)字?jǐn)z像機(jī)和數(shù)碼相機(jī)的影像與照片清晰度，提升汽車導(dǎo)航系統(tǒng)的航位推算和/或地圖匹配性能。由于在建筑物內(nèi)或高樓林立的市區(qū)，通常沒有GPS信號，航位推算系統(tǒng)可通過監(jiān)測動作、行駛距離和緯度，修正數(shù)字羅盤的讀數(shù)，為用戶不間斷地提供準(zhǔn)確的導(dǎo)航資訊。
壓力傳感器可滿足應(yīng)用對全量程和高分辨率的要求：應(yīng)用實(shí)例包括手持設(shè)備的氣壓計功能和硬盤驅(qū)動器的“飛行高度”控制功能。隨著硬盤驅(qū)動器小型化的趨勢和容量不斷地提升，讀寫頭與硬盤表面之間的距離容易因?yàn)闅鈮鹤兓艿接绊憽?br /> 微機(jī)電聲學(xué)器件、或MEMS麥克風(fēng)可提高現(xiàn)有和新興應(yīng)用的音質(zhì)、可靠性以及成本效益，包括手機(jī)、筆記本電腦、攝像機(jī)、數(shù)碼相機(jī)以及助聽器或電子聽診器。將多個MEMS麥克風(fēng)組合成一個陣列可實(shí)現(xiàn)更多的功能，例如噪音抑制和方向拾音等。隨著人們在噪音很大和無法控制的環(huán)境內(nèi)使用手機(jī)的頻率日漸增加，這個功能對于提高聲音清晰度有很大的幫助，同時可提高手機(jī)通話與會議的音質(zhì)。