應(yīng)用材料將真空泵和除害裝置的運行成本削減20％以上

美國應(yīng)用材料公司發(fā)布了能夠削減制造裝置附帶的真空泵及除害裝置等的能源消耗量，將運行成本較原來削減20%以上的系統(tǒng)“Applied iSYS”。首先將面向該公司的CVD裝置提供，將來還計劃應(yīng)用于蝕刻裝置。

Applied iSYS根據(jù)制程艙內(nèi)的情況控制真空泵和除害裝置的運行。比如，應(yīng)用于CVD裝置時，在成膜時及清潔時運行真空泵和除害裝置，其他時間使其處于備用狀態(tài)。這樣，可減少用電量及煤氣用量等。應(yīng)用于半導(dǎo)體工廠的全部CVD工序時，每年可削減真空泵和除害裝置等的運行成本200萬美元以上。

據(jù)應(yīng)用材料公司介紹，大型半導(dǎo)體廠商已相繼提出能源削減目標。在半導(dǎo)體工廠的能源消耗中，制造裝置占45%，制造裝置所附帶的裝置占42%，其余13%來自照明等。