12英寸硅片制造向18英寸過(guò)渡或在2015-2017年時(shí)段開(kāi)始

應(yīng)用材料CEO Mike Splinter日前表示，他預(yù)計(jì)12英寸硅片制造向18英寸過(guò)渡或在2015-2017年時(shí)段開(kāi)始。他同時(shí)告誡半導(dǎo)體生產(chǎn)商，必須避免以前8英寸硅片制造向12英寸過(guò)渡時(shí)發(fā)生的一些問(wèn)題(主要是芯片生產(chǎn)商和設(shè)備廠商在計(jì)劃協(xié)調(diào)上的不同步)。Mike Splinter同時(shí)透露，應(yīng)用材料明年將正式開(kāi)始切入18英寸生產(chǎn)設(shè)備的開(kāi)發(fā)工作，他表示，在18英寸設(shè)備的自動(dòng)化裝置和工藝反應(yīng)腔方面有大量的工作還有待完成。