更快的處理器和復雜的移動設備讓芯片在實現(xiàn)理想的性能方面有巨大壓力。隨著芯片設計逐漸延伸到40nm以下,甚至達到28nm,受晶圓的極端漏電流效應影響,芯片良率正經(jīng)受挑戰(zhàn)。在28nm節(jié)點,晶圓加工廠商仍可以在小基板上生產(chǎn)傳統(tǒng)MOSFET,但良率會因此而降低。
Soitec的全耗盡(fullydepleted,FD)硅晶圓有望解決漏電流問題。Soitec使用絕緣體上硅(SOI)技術,將一層超薄的FD層覆蓋在晶圓上,作為阻隔以顯著減少漏電流,提升良率并大幅提升性能。這樣芯片速度更快,頻率更高,而功耗則會更低。使用FD方法經(jīng)證明非常有效,現(xiàn)在已經(jīng)是國際半導體技術路線圖(ITRS)的一部分。
標準的FD基板MOSFET形成于非摻雜全耗盡晶圓頂層之上。Soitec將其厚度控制在5埃(1埃為一百億分之一米)。采用FD晶圓后,采用現(xiàn)有IP的傳統(tǒng)CMOS電路可以縮小至20nm,良率也足以讓利潤得到保證。供電電壓會下降到0.6V,節(jié)電效果極好。低功耗可以為消費者帶來顯著的好處,例如連續(xù)4個小時瀏覽網(wǎng)頁、2.5個小時觀看高清視頻、進行2個小時的高清視頻拍攝或者支持典型智能手機一整天的使用。
為達到更小的尺寸,在FD頂層實現(xiàn)獨特的FinFET設計得到了越來越多的支持。源級和漏極之間的距離更接近,和注入材料共同形成電路。柵極包裹在結構周圍。“垂直”設計拋棄了所有之前的IP,這意味著芯片需要重新設計。雖然這樣做會很貴,但卻能讓工藝深入到10nm,實現(xiàn)更多的性能提升。此外,新的垂直FinFET所需的工藝步驟有明顯減少(20%-25%),進一步提升了良率和利潤。
盡管FinFET設計現(xiàn)在并沒有被采用,但無疑會出現(xiàn)在很多芯片公司線路圖上,因為它們正艱難地維持著摩爾定律。而且,物理和優(yōu)秀的晶圓設計能讓我們實現(xiàn)LTE手機和平板所需的更高的速度和更低的功耗。