西班牙初創(chuàng)公司擬開發(fā)CMOS工藝單片式MEMS IMU

一家位于西班牙巴賽羅納的初創(chuàng)公司BaolabMicrosystemsSL宣布，正計劃采用該公司的一種新技術，來開發(fā)可重配置的慣性傳感器單元(IMU)。BaloabMicrosystemsSL是首創(chuàng)在CMOS晶圓金屬互連層中開發(fā)出微機電系統(tǒng)(MEMS)元件的公司。

Baolab已經開發(fā)出基于該公司特有技術的3D羅盤。這家公司同時表示，預計在對其技術進行修改后，還能進一步維入加速度計和陀螺儀，進而開發(fā)出全新的IMU。然而，Baolab并未說明何時才能采用其后段CMOS工藝正式生產多軸加速度計或陀螺儀。

結合三軸加速度計、陀螺儀和磁力計，可提供絕對位置和方向數據。這類產品通常結合衛(wèi)星數據，在移動設備應用中提供位置感知功能。

“我們已經開發(fā)出能夠修改我們所開發(fā)的3DNanoCompass產品架構的方式，以便用于開發(fā)陀螺儀、加速度計以及磁力計，BaolabCEODaveDoyle說。“由于我們已經能在單一芯片中同時整合各種不同的傳感器和電子元件，同時提供控制功能與智能特性，因此，我們將比創(chuàng)造出一種業(yè)界渴望的產品──多傳感器的IMU，這種新元件將具備更靈活的特性，能夠依照各種應用需求來動態(tài)配置。”

一般來說，MEMS、模擬信號調節(jié)器，以及數字信號處理會需要三種不同的工藝。這些元件通常采用多芯片封裝，以便讓它們成為具備數字輸出的MEMS元件。而藉由在CMOS芯片的金屬層中整合MEMS架構，Baolab聲稱將能開發(fā)出單片式的多單元MEMS元件。

“我們的目標是開發(fā)出超低成本，具備智能特性的多傳感器NanoIMU產品，未來我們將推出一系列的納米傳感器，”Doyle說。