TRADIM開(kāi)發(fā)出連續(xù)滾動(dòng)條式制造用TFT薄膜底板

日本新一代移動(dòng)顯示材料技術(shù)研究協(xié)會(huì)（TRADIM）開(kāi)發(fā)出在薄膜底板上連續(xù)形成TFT數(shù)組的技術(shù)。可用于采用連續(xù)滾動(dòng)條式制造技術(shù)的液晶面板制造。

此次，TRADIM在長(zhǎng)10m、寬300mm的薄膜底板上形成了相當(dāng)于3.5吋的TFT數(shù)組。薄膜底板的厚度約為250μm。即使把薄膜底板纏繞在直徑為300mm的輥軸上，TFT數(shù)組也不會(huì)折斷或龜裂。薄膜底板的Tg（玻璃化轉(zhuǎn)變溫度）為250℃以上，線膨脹系數(shù)為14ppm/℃。即便使用連續(xù)滾動(dòng)條式制造技術(shù)，在進(jìn)行與彩色濾光片底板粘合時(shí)的熱處理（配向膜的燒成和密封硬化的熱處理）時(shí)，“也可保持尺寸穩(wěn)定性”（該公司）。薄膜的透過(guò)率為90％左右。另外，對(duì)于薄膜的材料類型和開(kāi)發(fā)廠商的名稱，該公司表示“不便公布”。

在薄膜底板上形成TFT數(shù)組的工藝為：首先，在玻璃底板上形成TFT數(shù)組。用抗化學(xué)制劑的薄膜封裝TFT數(shù)組的表面后，用藥液蝕刻玻璃底板背面，將厚度減至幾十μm，實(shí)現(xiàn)薄型化。之后，使用光學(xué)同向性粘合劑將薄型TFT數(shù)組底板連續(xù)黏貼到薄膜底板上，由此形成TFT數(shù)組。

該協(xié)會(huì)此前已開(kāi)發(fā)出在薄膜底板上形成彩色濾光片和背照燈光學(xué)系統(tǒng)的技術(shù)。

（助編：xiaohu）