阪神震災(zāi)給予LSI/LCD生產(chǎn)線的教訓(xùn)與啟示

造成了5000多人死亡的日本阪神大地震，對(duì)LSI及LCD產(chǎn)業(yè)的影響卻比較輕微。就連當(dāng)初公認(rèn)受災(zāi)嚴(yán)重的KTI半導(dǎo)體、三菱電機(jī)及星電（Hosiden）也全部得以恢復(fù)。其主要原因不僅在于地震中受災(zāi)較輕，還在于恢復(fù)工作推進(jìn)迅速。相關(guān)企業(yè)集中于附近是一大幸事。周邊附屬企業(yè)、裝置及材料廠商的支持為受災(zāi)廠商迅速恢復(fù)做出了貢獻(xiàn)。因此，在選擇生產(chǎn)及開發(fā)基地的地點(diǎn)時(shí)，不僅要考慮不會(huì)輕易發(fā)生災(zāi)害，而且還要考慮恢復(fù)時(shí)所需要的基礎(chǔ)設(shè)備是否完善，這是阪神大地震帶給我們的啟示。

1995年1月17日凌晨發(fā)生的阪神大地震，死亡人數(shù)超過(guò)5000人，給阪神地區(qū)的產(chǎn)業(yè)留下嚴(yán)重創(chuàng)傷。但幸運(yùn)的是，LSI及LCD產(chǎn)業(yè)受到的影響較輕微（圖1，表1）。對(duì)此起到很大作用的事實(shí)有兩個(gè)。一是LSI及LCD相關(guān)廠商在地震中受到的災(zāi)害本身就很輕。另一個(gè)是恢復(fù)工作的迅速推進(jìn)。吸取這次阪神震災(zāi)的教訓(xùn)，各廠商都采取了加強(qiáng)災(zāi)害對(duì)策的行動(dòng)。

圖1：位于關(guān)西地區(qū)的LSI及LCD相關(guān)基地
圖中所示為阪神大地震（1995年1月）受災(zāi)地區(qū)及其附近的LSI及LCD相關(guān)生產(chǎn)及研發(fā)基地。KTI半導(dǎo)體是美國(guó)德州儀器（TI）和神戶制鋼所為制造LSI而共同出資成立的公司，Display Technology是東芝和IBM日本公司為制造LCD面板而共同出資成立的公司。（點(diǎn)擊放大）


震后受災(zāi)輕微

阪神大地震（1995年1月）后，最初也曾“有過(guò)生產(chǎn)線停工數(shù)月的思想準(zhǔn)備”（某LSI大廠商的技術(shù)人員）。不過(guò)，正如有廠商稱“受災(zāi)輕微”（KTI半導(dǎo)體）一樣，實(shí)際上受災(zāi)都很輕（表1）。雖然這與LSI及LCD生產(chǎn)及研發(fā)基地離震源地較遠(yuǎn)也有關(guān)系，但“建筑物及設(shè)備造得很結(jié)實(shí)”（三菱電機(jī)）發(fā)揮了巨大的作用。

首先，LSI相關(guān)設(shè)施有NEC關(guān)西、KTI的生產(chǎn)基地以及三菱的研發(fā)基地等。NEC關(guān)西的建筑物是以設(shè)想能抗烈度6級(jí)的關(guān)東大地震為標(biāo)準(zhǔn)建造的。而其在阪神大地震中為烈度5級(jí)，因此生產(chǎn)線本身并未受損。KTI只是曝光相關(guān)設(shè)備有一部分有位移，而建筑物未受絲毫損傷。而三菱北伊丹制作所，盡管其緊鄰的阪急電鐵伊丹站倒塌，但ULSI開發(fā)研究所U棟等建筑本身幾乎未受影響。而且材料廠商及裝置廠商也未遭受大的災(zāi)害，比如位于尼崎的住友Sitix“生產(chǎn)設(shè)備未受影響”，位于生野的三菱Material Silicon也表示“未停工”。


其次是LCD相關(guān)設(shè)施在阪神大地震中受災(zāi)較輕。離震源地最近的星電雖然經(jīng)歷了烈度6級(jí)的劇烈晃動(dòng)，但設(shè)備及附屬裝置幾乎未受損。只是無(wú)塵室中有部分制造設(shè)備發(fā)生了移位。位于姫路的Display Technology（以下簡(jiǎn)稱DTI），設(shè)備受損較輕，只是在震災(zāi)第二天上午對(duì)設(shè)備作了調(diào)整。

表1：阪神大地震（1995年1月）災(zāi)區(qū)及其附近的LSI和LCD相關(guān)生產(chǎn)及研發(fā)基地的受災(zāi)及恢復(fù)情況
綜合了地震剛剛發(fā)生后的受災(zāi)情況，以及截至1995年2月10日時(shí)的恢復(fù)情況或恢復(fù)預(yù)計(jì)。*1為100～150mm晶圓合計(jì)近1000枚。（點(diǎn)擊放大）


支援迅速實(shí)現(xiàn)快速恢復(fù)

不僅受災(zāi)輕微，而且復(fù)工之快也令人吃驚。大部分LSI廠商在1～2天內(nèi)便恢復(fù)了生產(chǎn)。被競(jìng)爭(zhēng)廠商等“估計(jì)受災(zāi)最重”的三菱北伊丹制作所也順利恢復(fù)，2月13日以前部分生產(chǎn)線就重新開工。而裝置及材料廠商以及LCD廠商也最長(zhǎng)只停工了1周時(shí)間。這些都得益于附近相關(guān)企業(yè)和設(shè)備及材料廠商的迅速支援。雖然交通網(wǎng)受損嚴(yán)重，但提供生產(chǎn)保障的廠商就在附近，這對(duì)迅速恢復(fù)起了很大作用。

從LSI相關(guān)廠商來(lái)看，NEC關(guān)西在地震發(fā)生第二天即1月18日的16時(shí)半就得以恢復(fù)。原因是從近鄰的相關(guān)企業(yè)及裝置廠商迅速更換了損壞的夾具。而KTI在幾天內(nèi)就完成了對(duì)設(shè)備移位的恢復(fù)工作，這也是得益于設(shè)備廠商的迅速援助。三菱也一樣，在地震剛剛發(fā)生后，就有多家設(shè)備廠商做好了從附近的工廠及服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)派遣技術(shù)人員的準(zhǔn)備。

在材料廠商中，晶圓廠商住友Sitix表示1月23日就全面恢復(fù)了生產(chǎn)?！翱上衿綍r(shí)一樣繼續(xù)供貨”（住友Sitix）。其他材料廠商也大多在1月18日就恢復(fù)了生產(chǎn)。但交通混亂仍使供應(yīng)略有延遲。而裝置廠商中，住友金屬工業(yè)表示員工同樣受交通混亂等影響推遲了上班時(shí)間，停工時(shí)間長(zhǎng)達(dá)約1周。不過(guò)，裝置廠商的供貨間隔時(shí)間較長(zhǎng)，因此普遍認(rèn)為這一延遲的影響能夠得以挽回。

從LCD相關(guān)廠商來(lái)看，星電僅為了檢修及調(diào)整，生產(chǎn)線只停止了4～5天就恢復(fù)了生產(chǎn)。而且重新開工后起動(dòng)順利。不過(guò)，在材料采購(gòu)及供貨方面仍存在運(yùn)輸手段無(wú)法立即恢復(fù)的問(wèn)題。DTI只在地震第二天上午停止了生產(chǎn)線運(yùn)轉(zhuǎn)，之后便恢復(fù)了生產(chǎn)。由于其出資方東芝提供了運(yùn)輸?shù)暮笤Ｕ希虼瞬牧喜少?gòu)及供貨幾乎未發(fā)生延遲。

“別輕易更換工廠”


雖然阪神地震對(duì)LSI及LCD產(chǎn)業(yè)的影響較輕微，但多數(shù)觀點(diǎn)仍認(rèn)為需要進(jìn)一步加強(qiáng)災(zāi)害對(duì)策。此時(shí)，首先生產(chǎn)及研發(fā)基地設(shè)在何處就成了問(wèn)題。阪神大地震對(duì)此提供的啟示是，不是簡(jiǎn)單地將基地設(shè)在地震較少的地方，而是“要選擇能夠在受災(zāi)后迅速恢復(fù)的地點(diǎn)”（某LSI廠商的工廠負(fù)責(zé)人）。其次要考慮如何加強(qiáng)所設(shè)基地的震災(zāi)對(duì)策。在這一方面，計(jì)算機(jī)相關(guān)設(shè)施是阪神大地震中的盲點(diǎn)。

首先，關(guān)于工廠的設(shè)置地點(diǎn)問(wèn)題。阪神大地震剛剛發(fā)生后，海外出現(xiàn)了認(rèn)為將LSI及LCD等關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)的基地集中于容易發(fā)生大地震的日本“是個(gè)問(wèn)題”的看法。尤其是LCD工廠幾乎都在國(guó)內(nèi)，因此成為了這種批評(píng)的“眾矢之地”（上述技術(shù)負(fù)責(zé)人）。但從阪神震災(zāi)來(lái)看，正因?yàn)樯a(chǎn)基地都集中在國(guó)內(nèi)，才得以使受損部件等在鄰近的附屬公司、裝置及材料廠商得到了補(bǔ)充。在原料氣體等的供給上，也因?yàn)槭転?zāi)地近鄰有多家氣體廠商，才使LSI廠商迅速實(shí)現(xiàn)了復(fù)工。比如，夏普福山工廠由于一直由大阪供應(yīng)原料氣體，因此在地震剛剛發(fā)生后出現(xiàn)了供應(yīng)停止的危險(xiǎn)。而因該工廠在震后將供應(yīng)地?fù)Q成了名古屋，因此“在恢復(fù)生產(chǎn)時(shí)氣體采購(gòu)并未成為問(wèn)題”（夏普專務(wù)董事井上弘）。

從上述情況來(lái)看，“生產(chǎn)基地最好能分多處較密集設(shè)置，并與設(shè)備及材料廠商在一起”（某LCD大廠商的技術(shù)負(fù)責(zé)人）。在國(guó)內(nèi)數(shù)處將工廠和裝置及材料廠商集中在一起，“建立能夠相互援助的體系是非常重要的”（NEC關(guān)西）。而海外基地雖然能夠起到分散風(fēng)險(xiǎn)的作用，但在受災(zāi)時(shí)的恢復(fù)較為困難。[!--empirenews.page--]

互援體系對(duì)于強(qiáng)化物流等基礎(chǔ)設(shè)施尤為重要。在阪神大地震中，高速公路等的垮塌成了很大問(wèn)題。如果因這種問(wèn)題而切斷相互間的聯(lián)系，那么好不容易建立的互援體系就會(huì)失去意義。但這一問(wèn)題無(wú)法只靠廠商的力量來(lái)解決。有人指出，“或許要向中央及地方政府提出完善基礎(chǔ)設(shè)施的要求”（某LSI廠商的工廠負(fù)責(zé)人）。

另外，認(rèn)為向日本集中是個(gè)問(wèn)題的觀點(diǎn)有許多偏頗之處。日本全境同時(shí)發(fā)生地震等災(zāi)害是很難想象的，而且災(zāi)害不只有地震，還包括火災(zāi)及事故等，不管基地設(shè)在什么地方，這些都有可能發(fā)生。從這此方面來(lái)考慮，也“應(yīng)該將基地設(shè)在（不易發(fā)生震災(zāi)，即使發(fā)生震災(zāi)及事故也）能夠迅速恢復(fù)的地方”（日本國(guó)內(nèi)某設(shè)備廠商）。

首先從力所能及之處做起


從各基地的地震對(duì)策來(lái)看，即便是在阪神大地震中沒有直接損失的東芝等，也很可能會(huì)重新制定地震對(duì)策。此次雖未出現(xiàn)問(wèn)題，但今后首先要考慮涉及人命的對(duì)策，其次要從力所能及之處做起。而難以立即著手的根本對(duì)策，則會(huì)在投資擴(kuò)建時(shí)考慮實(shí)施。在這方面，阪神震災(zāi)中暴露出來(lái)的計(jì)算機(jī)設(shè)施的盲點(diǎn)就是一大教訓(xùn)。

作為涉及人命的對(duì)策，可舉出“設(shè)置因地震房門無(wú)法打開時(shí)用于逃生的工具”（NEC關(guān)西）、“強(qiáng)化氣體泄漏對(duì)策并確保緊急疏散路徑，以防備氣體事故”（夏普、住友金屬）等。在特種氣體方面，三菱等在地震發(fā)生后立即關(guān)掉了氣體，因此沒有發(fā)生事故。而對(duì)于一般不會(huì)自動(dòng)停止的城市燃?xì)?，則有觀點(diǎn)指出也“應(yīng)該使其能夠自動(dòng)停止”（NEC關(guān)西）。城市燃?xì)庖泊嬖谝l(fā)氣體中毒及火災(zāi)的危險(xiǎn)，因此今后在這方面采取對(duì)策尤為重要。

在能夠立即著手的對(duì)策中，重要的是強(qiáng)化落后于制造設(shè)備及無(wú)塵室的計(jì)算機(jī)及CAD室的地震對(duì)策。實(shí)際上，KTI就是在主機(jī)宕機(jī)后，改用德州儀器日本公司美浦工廠的計(jì)算機(jī)，才逃過(guò)一劫的。但日本國(guó)內(nèi)LSI大廠商中，有的企業(yè)聲稱“因?qū)⒂?jì)算機(jī)的處理能力用盡，根本無(wú)法改用其他工廠的計(jì)算機(jī)”。并且對(duì)開發(fā)而言，有觀點(diǎn)指出，因與試制生產(chǎn)線同等重要的CAD室的耐震設(shè)計(jì)不足，導(dǎo)致工作站部分受損。未受災(zāi)的夏普也表示，“今后重要的是強(qiáng)化計(jì)算機(jī)外設(shè)的地震對(duì)策”（夏普專務(wù)董事井上弘）。

另外，提高設(shè)備及夾具的抗震性也是目標(biāo)。有觀點(diǎn)指出，由于阪神大地震是劇烈的橫向晃動(dòng)，因此有些設(shè)備是因移位才最終防止機(jī)身破損的。不移位的話晃動(dòng)就會(huì)直接傳遞到設(shè)備身上，但只要使設(shè)備在地板上滑動(dòng)，“不發(fā)生大的晃動(dòng)就不會(huì)有事”（某LSI大廠商的設(shè)備負(fù)責(zé)人）。但考慮到縱向晃動(dòng)，則沒有移位更有望防止設(shè)備破損。原因是發(fā)生位移的話設(shè)備會(huì)被地板絆倒。采用什么方法來(lái)固定設(shè)備，是今后要討論的課題。在阪神震災(zāi)中傳送帶運(yùn)載夾具破損嚴(yán)重。因此，采取了改進(jìn)夾具本身及安裝方法以提高夾具抗震性的行動(dòng)。

作為根本對(duì)策，很多LSI及LCD廠商為了在遭遇烈度7級(jí)地震時(shí)保證建筑及設(shè)備也不受損，將在增強(qiáng)產(chǎn)能時(shí)采取措施。而且有些廠商已開始開始了實(shí)際討論。 （本文為1995年日文報(bào)道的翻譯）