半導體所“氮化鎵基LED用藍寶石圖形襯底關鍵技術研究”項目通過驗收

近日，由中國科學院半導體研究所承擔的北京市科委“氮化鎵基LED用藍寶石圖形襯底關鍵技術研究”項目順利通過北京市科委組織專家組驗收。專家們一致認為：項目的實施有利于提高半導體照明行業(yè)自主創(chuàng)新能力和產業(yè)競爭力，對推動北京市乃至全國半導體照明行業(yè)上游關鍵材料的發(fā)展具有重要的意義。

在北京市科委和北京市新材料中心的組織協(xié)調下，多位專家組成驗收組對該項目進行了全面詳實的驗收考核，專家組成員有：北京工業(yè)大學教授沈光地、北京交通大學教授徐征、中國科學院物理研究所研究員顧長志、中國科學院微電子研究所研究員劉明、國家納米科學中心研究員江潮、清華大學研究員李群慶、北京大學微電子學系教授王金延。期間驗收組認真聽取了由半導體所項目負責人、所長助理楊富華研究員和集成中心高級工程師樊中朝所做的項目和課題研究報告、用戶使用、測試和經費審計報告，驗收組成員親自現場考察了月產能5000片的PSS中試工藝線。通過審議指標和現場考察，驗收組充分討論并一致同意項目通過驗收。

參加項目驗收的還有：北京市科委新材料處主管工程師關璐、北京新材料發(fā)展中心高級項目主管謝潛思、科研管理與質量控制處處長鑒海防、科研管理與質量控制處主管鐘鑫、集成中心副主任王曉東研究員、照明中心副主任伊曉燕研究員、集成中心季安研究員以及相關工藝技術人員。