賽斯純氣體公司宣布在中國引入對(duì)光刻設(shè)備檢驗(yàn)的微污染物檢驗(yàn)服務(wù)

賽斯純氣體有限公司作為一家氣體凈化技術(shù)設(shè)備的世界領(lǐng)導(dǎo)者和供應(yīng)商日前在2009年國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料展覽會(huì)上, 正式宣布引入微污染物檢驗(yàn)服務(wù)和CollectTorr取樣系統(tǒng), 用于對(duì)在中國的光刻和測量設(shè)備提供檢驗(yàn)。

賽斯公司開發(fā)的CollectTorr取樣系統(tǒng)和離線分析服務(wù)能夠向尖端光刻和檢驗(yàn)/測量設(shè)備的最終客戶提供一種簡單、專用和可靠的分析工具, 對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的分子污染物的吹掃氣體進(jìn)行驗(yàn)證?；诠虘B(tài)捕獲器的CollectTorr取樣系統(tǒng)與賽斯純氣體公司的尖端分析設(shè)備相結(jié)合，能夠評(píng)估pptV水平的分子酸、堿、難熔和有機(jī)污染物的含量。

這項(xiàng)服務(wù)已經(jīng)通過一家國際著名的光刻設(shè)備制造商的正式認(rèn)證。

克里斯蒂安?蘭東尼先生，賽斯純氣體公司的使用點(diǎn)產(chǎn)品經(jīng)理說:”我們很自豪地把這項(xiàng)成功開發(fā)的固態(tài)取樣技術(shù)和分析技術(shù)引入中國, 用于對(duì)光刻設(shè)備的檢驗(yàn)。自從1995年起，賽斯純氣體公司就已經(jīng)通過在上海設(shè)立的銷售和客戶服務(wù)辦事處服務(wù)中國市場“。蘭東尼先生總結(jié)道: “為了保持光刻和測量設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)的擔(dān)保, 必須采用一種可靠的分子污染物檢驗(yàn)。賽斯純氣體公司的壓縮氣體和環(huán)境空氣CollectTorr系統(tǒng)提供比通常的液態(tài)濾塵器具有巨大的優(yōu)勢(shì), 后者用于分子酸和堿的取樣。

微污染物檢驗(yàn)分析服務(wù)的應(yīng)用如下:

光刻和檢驗(yàn)/測量設(shè)備制造商的光學(xué)系統(tǒng)和鏡頭擔(dān)保的吹掃氣體驗(yàn)證

賽斯純氣體公司坐落在美國加州圣路易斯奧比斯波, 是氣體中的雜質(zhì)含量必須達(dá)到非常低的極限值的科技應(yīng)用領(lǐng)域內(nèi)的全球領(lǐng)導(dǎo)者。通過利用公司的核心能力，賽斯公司開發(fā)了應(yīng)用于半導(dǎo)體和其它高科技市場的超高純氣體處理設(shè)備, 事實(shí)上對(duì)于全部的大宗氣體和特氣應(yīng)用領(lǐng)域提供氣體凈化設(shè)備。憑借在氣體凈化領(lǐng)域20年的豐富經(jīng)驗(yàn)，賽斯純氣體公司也在最新的半導(dǎo)體工業(yè)尖端應(yīng)用領(lǐng)域，比如, 光刻、測量和檢驗(yàn)設(shè)備光學(xué)系統(tǒng)的吹掃氣體凈化，成為一家關(guān)鍵的供應(yīng)商。