安立知110GHz VNA系統(tǒng)提升設(shè)備特性描述功能

安立知(Anritsu)推出 VectorStar ME7838E 寬頻向量網(wǎng)路分析儀(VNA)系統(tǒng)，可于單一連接提供70kHz至110GHz的頻率覆蓋范圍。Anritsu ME7838E 集結(jié)了 VectorStar ME7838 系列寬頻系統(tǒng)的所有優(yōu)點(diǎn)，包括精巧的毫米波(mm-wave)模組、最佳的穩(wěn)定度與動(dòng)態(tài)范圍，以及最快的量測(cè)速度，可充分解決高速設(shè)備特性描述所面臨的挑戰(zhàn)。

VectorStar ME7838E 寬頻系統(tǒng)采用獨(dú)特的混合型 VNA 架構(gòu)，克服傳統(tǒng)寬頻系統(tǒng)的固有限制，因此工程師可為設(shè)備的高精密度特性描述制作更完善的模型。 VectorStar ME7838E 110GHz 頻率擴(kuò)充模組的設(shè)計(jì)無需MUX結(jié)合器(combiner)，進(jìn)而減少熱變異。此外，透過使用射頻電橋及微波耦合器分享共同的 IF 路徑及全合成訊號(hào)源，使 VectorStar ME7838E 寬頻系統(tǒng)可提供-直流近似至110GHz的寬廣頻率覆蓋范圍。

此創(chuàng)新設(shè)計(jì)同時(shí)亦提供對(duì)于高速晶圓(on-wafer)應(yīng)用相當(dāng)重要的頂級(jí)性能，無需 MUX 結(jié)合器可達(dá)到真實(shí)的方向性，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)超過24小時(shí)0.1dB的測(cè)量穩(wěn)定性，同時(shí)亦減少所需校正的次數(shù)，藉此提高處理能力與產(chǎn)能，并且降低測(cè)試成本。

由于 VectorStar ME7838E 整合了非線性傳輸線(NLTL)諧波取樣器，使其無需放大即可達(dá)到109dB@110GHz的杰出動(dòng)態(tài)范圍。 NLTL 技術(shù)可提供更高的梳形(comb)頻率，并于高頻率時(shí)使衰退達(dá)到最小。

Anritsu VectorStar ME7838E 采用比傳統(tǒng)模組更輕巧的微型整合式毫米波模組，無需使用1-mm測(cè)試埠纜線，即可透過低成本的定位裝置直接連接至晶圓探針，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)業(yè)界最佳校準(zhǔn)及測(cè)量穩(wěn)定性?？傮w而言， VectorStar ME7838E 提供了更高的測(cè)量可信度，并能設(shè)立更精準(zhǔn)的模型以及有效縮短設(shè)計(jì)時(shí)間。