日本濱松集團(tuán)經(jīng)SWS授權(quán)使用MEMS光譜儀技術(shù)

摘要：  Si-Ware Systems(SWS)日前宣布，該公司已授權(quán)日本濱松集團(tuán)(Hamamatsu Photonics)使用其MEMS傅立葉變換紅外光譜儀(FT-IR spectrometer)技術(shù)。

關(guān)鍵字：  Si-Ware Systems，  MEMS專利，  濱松集團(tuán)

Si-Ware Systems(SWS)日前宣布，該公司已授權(quán)日本濱松集團(tuán)(Hamamatsu Photonics)使用其MEMS傅立葉變換紅外光譜儀(FT-IR spectrometer)技術(shù)。

濱松集團(tuán)是全世界光電元件領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者。該公司上個(gè)月發(fā)布了此款傅立葉變換紅外光譜儀。由SWS開發(fā)并授權(quán)給濱松集團(tuán)使用的傅立葉變換紅外光譜儀是世界上首個(gè)單芯片光譜儀。運(yùn)用SWS的MEMS專利技術(shù)，光譜儀上所有的光學(xué)元件被集成在單塊芯片上。

“與濱松集團(tuán)合作，成功地將SWS的創(chuàng)新技術(shù)與濱松集團(tuán)卓越的制造能力及引領(lǐng)市場的產(chǎn)品相結(jié)合，”SWS光學(xué)MEMS部門經(jīng)理巴薩姆說，“現(xiàn)在，單芯片光譜儀為便攜式光譜測(cè)量創(chuàng)造了更多機(jī)會(huì)，使傳統(tǒng)光譜儀體積變小，價(jià)格變低。SWS的單芯片光譜儀可以實(shí)現(xiàn)在手持設(shè)備(如手機(jī))中安裝光譜儀。”

該傅立葉變換紅外光譜儀包含1 x 1 cm2 見方的MEMS芯片，該芯片包括所有的光學(xué)元件。獨(dú)立的ASIC芯片也由SWS的ASIC部門完成。整個(gè)系統(tǒng)還包括一個(gè)光電探測(cè)器、光纖及軟件。目前，系統(tǒng)被集成在一個(gè)模塊中，該模塊通過USB 接口供電，功耗小于150mA，大小為8 x 6 x 3 cm3 ，重量小于100g。所有這些都確保它成為世界上體積最小、功耗最低的光譜儀產(chǎn)品。

“濱松集團(tuán)通過與SWS 緊密合作將這個(gè)創(chuàng)新產(chǎn)品推向市場，” 濱松集團(tuán)資深執(zhí)行董事及固態(tài)部門總經(jīng)理山本光榮說，“SWS 的技術(shù)不僅能開發(fā)單芯片光譜儀，還可以開發(fā)更多產(chǎn)品?！?/P>

該傅立葉變換紅外光譜儀是基于SWS的SiMOST(硅集成微光學(xué)系統(tǒng)技術(shù))開發(fā)并發(fā)布的第一款產(chǎn)品。SiMOST是一個(gè)完整平臺(tái)，該平臺(tái)利用經(jīng)過驗(yàn)證的MEMS 元件來創(chuàng)造單片集成光學(xué)系統(tǒng)。使用深反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)技術(shù)，可在SOI 圓片上設(shè)計(jì)并制造多個(gè)光學(xué)MEMS結(jié)構(gòu)，隨后對(duì)這些結(jié)構(gòu)進(jìn)行圓片級(jí)封裝并切割成單芯片光學(xué)系統(tǒng)。

基于SiMOST的光學(xué)元件由半導(dǎo)體加工技術(shù)在單芯片上制造，不需要對(duì)準(zhǔn)，而分立光學(xué)系統(tǒng)必須經(jīng)由精確對(duì)準(zhǔn)，導(dǎo)致裝配及封裝的高成本。

基于SiMOST的單芯片光學(xué)解決方案在尺寸、成本、可靠性上優(yōu)勢(shì)明顯。半導(dǎo)體圓片的生產(chǎn)加工特點(diǎn)極大提高了產(chǎn)能、降低了成本。將所有光學(xué)元件集成在一個(gè)芯片上可使光學(xué)系統(tǒng)更加可靠，更好地避免沖擊或振動(dòng)帶來的負(fù)面影響。最后，尺寸的大幅度減小創(chuàng)造了新的應(yīng)用機(jī)會(huì)，這些應(yīng)用是以前更大的、分立的光學(xué)系統(tǒng)不能實(shí)現(xiàn)的。