ams推出MEMS氣體傳感器IC，檢測(cè)家里的揮發(fā)性有機(jī)化合物

 奧地利ams公司推出了MEMS氣體傳感器IC“AS-MLP-P2”，用于檢測(cè)普通住宅內(nèi)的揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOC：Volatile Organic Compounds)，可檢測(cè)的有機(jī)化合物包括乙醇、醛、酮、有機(jī)酸、胺、脂肪烴、芳香烴等。主要用于智能住宅的空氣監(jiān)控系統(tǒng)和IoT設(shè)備等。將這款I(lǐng)C與500萬(wàn)像素的CMOS傳感器、兩個(gè)麥克風(fēng)、溫度傳感器、濕度傳感器以及支持無(wú)線LAN或藍(lán)牙的無(wú)線通信功能組合，就能實(shí)現(xiàn)檢測(cè)普通住宅內(nèi)的聲音、溫度和氣味，并將檢測(cè)結(jié)果顯示在智能手機(jī)或平板電腦上的系統(tǒng)。

新產(chǎn)品融合了ams公司自主開發(fā)的MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術(shù)和MOS(Metal Oxide Semiconductor)技術(shù)。在利用LPCVD法制成的約1μm厚的SiN(氮化硅)膜上，制作鉑加熱器和梳型電極，然后在梳型電極上面形成二氧化錫基薄膜。該薄膜被用作對(duì)氣體濃度有依賴性的導(dǎo)電膜，也就是說(shuō)，其電阻值會(huì)隨著周圍環(huán)境內(nèi)的揮發(fā)性有機(jī)化合物的濃度而變化。使用時(shí)要將鉑加熱器加熱到320℃(標(biāo)稱值)。電阻值的變化范圍為100kΩ～500kΩ。響應(yīng)時(shí)間以秒為單位。耗電量在加熱至320℃時(shí)僅34mW(標(biāo)稱值)。

封裝采用外形尺寸為9.1mm×9.1mm×1.6mm的4端子TO-39。周圍環(huán)境的工作溫度范圍為0～+50℃，濕度范圍為5～95%。批量購(gòu)買1000個(gè)時(shí)的美國(guó)參考單價(jià)為14.30美元。