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[導(dǎo)讀]Agilent 公司近日發(fā)布適用于 Agilent B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀的下一代 EasyEXPERT 參數(shù)分析軟件。EasyEXPERT 2.0 為半導(dǎo)體器件表征提供直觀和面向任務(wù)的方法。它可用于在非生產(chǎn)應(yīng)用中,如工藝流程開發(fā)、建模、可靠性

Agilent 公司近日發(fā)布適用于 Agilent B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀的下一代 EasyEXPERT 參數(shù)分析軟件。EasyEXPERT 2.0 為半導(dǎo)體器件表征提供直觀和面向任務(wù)的方法。它可用于在非生產(chǎn)應(yīng)用中,如工藝流程開發(fā)、建模、可靠性和缺陷分析中測(cè)試器件。Agilent 還推出了 Desktop EasyEXPERT 2.0,該軟件允許用戶在基于 MS Windows® 的PC 上快速和容易地開發(fā)應(yīng)用測(cè)試和執(zhí)行數(shù)據(jù)分析。用戶現(xiàn)在第一次實(shí)現(xiàn)了在他們的參數(shù)分析儀上和在臺(tái)式 PC 上運(yùn)行同樣的參數(shù)測(cè)試軟件,從而為實(shí)驗(yàn)室和工作臺(tái)上的參數(shù)測(cè)試建立無縫的實(shí)驗(yàn)室和開發(fā)環(huán)境。Agilent Hachioji半導(dǎo)體測(cè)試事業(yè)部副總裁兼總經(jīng)理Minoru Ebihara 說:“EasyEXPERT 2.0 和Desktop EasyEXPERT 2.0 為在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境工作的工程師提供原先只有參數(shù)測(cè)試生產(chǎn)環(huán)境才具有的能力。從我們?nèi)ツ晖瞥鲆詠恚珽asyEXPERT 的直觀方法已被業(yè)內(nèi)廣泛接納。我們預(yù)期該版本的強(qiáng)大新能力與 Desktop EasyEXPERT 選項(xiàng)的結(jié)合,將能幫助我們客戶進(jìn)一步提高他們的生產(chǎn)能力?!盓asyEXPERT 2.0 所具有的新能力包括新的快測(cè)試模式,為Agilent B2200A 和 B2201A 改進(jìn)的開關(guān)矩陣控制功能,以及新的自動(dòng)數(shù)據(jù)輸出選件。這些特性使從事半導(dǎo)體工藝流程表征和開發(fā)的工程師和科學(xué)家能通過自動(dòng)化的方法完成過去許多需要手工執(zhí)行的任務(wù),如對(duì)園片的重復(fù)測(cè)量和用圖形方式比較結(jié)果而提高效率和降低成本。到目前為止,EasyEXPERT 還只能在 Agilent B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀上使用,它已從 2005年 8月開始出貨。對(duì)于新發(fā)布的EasyEXPERT 2.0,Agilent 將為新的和現(xiàn)有的 Agilent B1500A 客戶提供該軟件的免費(fèi)版本 Desktop EasyEXPERT 2.0。 Desktop EasyEXPERT 2.0在基于 MS Windows的PC上運(yùn)行,使用戶能快速和容易地開發(fā)應(yīng)用測(cè)試和執(zhí)行數(shù)據(jù)分析。由于Desktop EasyEXPERT允許用戶把這些功能移到獨(dú)立的 PC上,因此就能幾乎 100% 地利用 B1500A 的測(cè)量資源。如果 PC 上已安裝 Agilent I/O 庫(kù)和 GPIB(通用接口總線),那么就可用 Desktop EasyEXPERT 2.0 從外部控制B1500A。 EasyEXPERT 2.0 中新的快速測(cè)特性提供高效的自動(dòng)測(cè)試環(huán)境,使用戶能使用駐存在半自動(dòng)晶園片檢測(cè)器上的園片圖同步測(cè)試序列。這就能加快原來復(fù)雜和費(fèi)時(shí)的過程和降低測(cè)試成本。EasyEXPERT 2.0 也可改進(jìn)Agilent B2200A 和 B2201A 開關(guān)矩陣的控制功能。使用戶能容易地在被測(cè)器件(DUT)間切換,以及用快速測(cè)試模式自動(dòng)化模塊內(nèi)的 DUT 選擇。用戶還能利用新的自動(dòng)輸出能力,對(duì)使用交互或快測(cè)試模式得到的數(shù)據(jù)精確選擇文件名、數(shù)據(jù)格式和目標(biāo),從而增強(qiáng)數(shù)據(jù)管理能力。由于Desktop EasyEXPERT 是在標(biāo)準(zhǔn) PC 上運(yùn)行,由此用戶能完全控制 PC 的硬件配置和符合公司認(rèn)定的 IT 標(biāo)準(zhǔn)。預(yù)期Desktop EasyEXPERT 的未來版本將支持在半導(dǎo)體工藝流程表征中使用的其它 Agilent 儀器。就像在 B1500A 上駐存的該 EasyEXPERT 版本一樣,Desktop EasyEXPERT 支持 GPIB 通信,因此用戶能用 GPIB 命令直接控制其它儀器。除了改進(jìn)的諸多特性外,EasyEXPERT 2.0 還包括新的轉(zhuǎn)換工具,因此 Agilent 4155 和 4156 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀的當(dāng)前用戶在升級(jí)到 B1500A 時(shí),可把它們的設(shè)置文件輸入到 EasyEXPERT 環(huán)境。這樣就可不必重建這些文件,也就能最小化轉(zhuǎn)換成本,使用戶能很快開始使用 B1500A。EasyEXPERT 2.0 預(yù)期在 2006年5月1日供貨。到那時(shí),現(xiàn)有 B1500A EasyEXPERT 1.0 用戶可進(jìn)入 www.agilent.com/see/B1500A下載免費(fèi)的軟件升級(jí)。Desktop EasyEXPERT 原版本也為現(xiàn)有和未來 B1500A 客戶免費(fèi)提供。Agilent EasyEXPERT 軟件簡(jiǎn)介Agilent EasyEXPERT 軟件為器件表征提供創(chuàng)新和面向任務(wù)的方法,從而使每一位用戶都成為參數(shù)測(cè)試專家。該 EasyEXPERT 軟件提供器件應(yīng)用測(cè)試庫(kù),因此用戶只需選擇所要求的測(cè)量類型。在進(jìn)行少數(shù)幾項(xiàng)選擇,如確定分類技術(shù)和適宜的器件類型后,軟件就選定適合的設(shè)置,進(jìn)行測(cè)量、分析和顯示數(shù)據(jù)。EasyEXPERT 能讓初學(xué)者立刻在 B1500A 上進(jìn)行高效率的測(cè)量。EasyEXPERT 軟件包括在 Agilent B1500A 和 Desktop EasyEXPERT 中。Agilent B1500A 簡(jiǎn)介 Agilent B1500A 是帶EasyEXPERT 軟件的Windows 基半導(dǎo)體器件分析儀,它采用新的方法表征半導(dǎo)體器件。B1500A 把電容 vs. 電壓(CV)和電流 vs. 電壓(IV)測(cè)量集成在同一儀器中,從而為半導(dǎo)體測(cè)試工程師節(jié)省時(shí)間和提高效率。Agilent B1500A 為 65nm 制板和納米技術(shù)及更高器件的參數(shù)表征和分析提供完全、配套和可擴(kuò)展的解決方案。Agilent B2200A and B2201A簡(jiǎn)介 B2200A 和 B2201A 高性能開關(guān)主機(jī)提供低電流泄漏和電容測(cè)量能力,在這兩個(gè)產(chǎn)品中您不會(huì)遇到其它解決方案常遇到的限制。達(dá)1 fA (B2200A) 和 10 fA (B2201A) 的測(cè)量能力意味著能夠充分發(fā)揮半導(dǎo)體參數(shù)分析儀的性能。模塊化結(jié)構(gòu)支持12, 24, 36 和 48 路輸出,可得到最大的靈活性。LED 顯示和通過鍵區(qū)或可選光筆的前面板控制提供了靈活的操作者控制。
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