InGaAs線列探測器對航空航天領域影響深遠

近日，中科院長春光學精密機械與物理研究所宋航研究員主持的重點項目“室溫工作的高In組分短波InGaAs線列探測器材料與器件研究” 通過項目結(jié)題驗收。專家組由來自我國材料科學界知名專家組成，基金委領導和工程與材料科學部領導參加了重點項目結(jié)題驗收會，這些專家由國家自然科學基金委員會工程與材料科學部組織。

本項目歷時四年的努力，主要針對高In組分InGaAs紅外探測器結(jié)構(gòu)材料的MOCVD生長、晶格失配缺陷的抑制、紅外探測器材料與器件工藝的優(yōu)化、探測器線列焦平面的研制與集成等方面開展了深入系統(tǒng)的研究。提出兩步生長法并引入熱退火過程抑制大晶格失配InGaAs材料的制備方法；成功獲得大尺寸、高質(zhì)量InGaAs紅外探測器結(jié)構(gòu)材料；成功獲得了256×1的延長波長InGaAs線列焦平面探測器。四年中，項目組在國內(nèi)外學術期刊和學術會議上發(fā)表論文50篇，申請發(fā)明專利5項，授權發(fā)明專利2項。高In組分InGaAs紅外光電探測器在國民經(jīng)濟建設和航空航天領域具有重要應用。該項目的驗收成功對我國航空航天領域發(fā)展具有深遠影響和意義。

（結(jié)題驗收會現(xiàn)場）