EV集團(tuán)和肖特?cái)y手證明300-MM光刻/納米壓印技術(shù)在玻璃制造中已就緒

EV集團(tuán)和肖特?cái)y手證明300-MM光刻/納米壓印技術(shù)在玻璃制造中已就緒

聯(lián)合工作將在EVG的NILPhotonics®能力中心開展,這是一個(gè)開放式的光刻/納米壓印(NIL)技術(shù)創(chuàng)新孵化器,同時(shí)也是全球唯一可及的300-mm光刻/納米壓印技術(shù)線

2019年8月28日,奧地利,圣弗洛里安——微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場晶圓鍵合與光刻設(shè)備領(lǐng)先供應(yīng)商EV集團(tuán)(EVG)今日宣布,與特種玻璃和微晶玻璃領(lǐng)域的世界領(lǐng)先技術(shù)集團(tuán)肖特?cái)y手合作,證明300-mm(12英寸)光刻/納米壓印(NIL)技術(shù)在下一代增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)/混合現(xiàn)實(shí)(AR/MR)頭戴顯示設(shè)備的波導(dǎo)/光導(dǎo)制造中使用的高折射率(HRI)玻璃晶圓的大體積圖案成形已就緒。

此次合作涉及EVG的專有SmartNIL®工藝和SCHOTT RealView™高折射率玻璃晶圓,將在EVG位于奧地利總部的NILPhotonics®能力中心進(jìn)行。肖特將于9月4日至7日在深圳會展中心舉行的中國國際光電博覽會上展示一款采用EVG SmartNIL技術(shù)進(jìn)行圖案成形的300-mm SCHOTT RealView™玻璃晶圓。

300-mm和200-mm SCHOTT RealView™玻璃基板,裝配在應(yīng)用SmartNIL® UV-NIL技術(shù)的EVG® HERCULES® NIL系統(tǒng)

肖特增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)負(fù)責(zé)人Ruediger Sprengard博士表示:“將高折射率玻璃晶圓的制造擴(kuò)展到300-mm,對于實(shí)現(xiàn)我們客戶滿足當(dāng)今和未來領(lǐng)先AR/MR設(shè)備不斷增長的市場需求所需的規(guī)模經(jīng)濟(jì)產(chǎn)量來說至關(guān)重要。通過攜手合作,EVG和肖特彰顯了當(dāng)今300-mm高折射率玻璃制造的設(shè)備和供應(yīng)鏈的就緒性。”

在此之前,使用光刻/納米壓印技術(shù)對具有光子學(xué)應(yīng)用結(jié)構(gòu)的玻璃基板進(jìn)行圖案成形僅限于200-mm基板。向300-mm晶圓加工的遷移是將AR/MR頭戴顯示設(shè)備推向大眾消費(fèi)和工業(yè)市場邁出的重要一步。不過,在這些較大的基板上保持高基板質(zhì)量和工藝均勻性是很難控制的,需要先進(jìn)的自動(dòng)化和工藝控制能力。EVG的SmartNIL技術(shù)得益于多年的研究、開發(fā)和實(shí)驗(yàn),旨在滿足納米圖案成形的需求,經(jīng)過了現(xiàn)場驗(yàn)證,能夠輕松從晶圓級樣品尺寸擴(kuò)展到大面積基板。去年六月,EVG推出了HERCULES® NIL 300 mm,將SmartNIL引入300-mm制造,滿足各種設(shè)備和應(yīng)用的生產(chǎn)需求,其中包括AR、MR和虛擬現(xiàn)實(shí)(VR)頭戴顯示設(shè)備的光學(xué)器件以及3D傳感器、生物醫(yī)療設(shè)備、納米光子學(xué)和等離子電子學(xué)。

集成到 SmartNIL® UV-NIL系統(tǒng)的全模塊化EVG® HERCULES® NIL 300 mm

EV集團(tuán)企業(yè)技術(shù)開發(fā)和知識產(chǎn)權(quán)總監(jiān)Markus Wimplinger表示:“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年,為光刻/納米壓印技術(shù)供應(yīng)鏈中的各個(gè)合作伙伴和公司與EVG合作提供了一個(gè)開放式的創(chuàng)新孵化器,從而縮短創(chuàng)新光子器件和應(yīng)用的開發(fā)周期和上市時(shí)間。我們很高興與肖特公司合作,證明EVG光刻/納米壓印技術(shù)解決方案的價(jià)值,不僅有助于新技術(shù)和新工藝的開發(fā),還能夠加速新技術(shù)和新工藝在大眾市場中的采用。我們正在攜手肖特開展的工作,彰顯了光刻/納米壓印技術(shù)設(shè)備和工藝的成熟性,為各種令人興奮的基于光子學(xué)的新產(chǎn)品和新應(yīng)用的300-mm制造奠定了基礎(chǔ)。”

SCHOTT RealView™高折射率玻璃晶圓是領(lǐng)先AR/MR設(shè)備的關(guān)鍵組件,已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了批量生產(chǎn)。產(chǎn)品組合提供了高達(dá)1.9的折射率,支持深度沉浸的AR/MR應(yīng)用,視野更廣,高達(dá)65度。在與增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)硬件制造商進(jìn)行多年研發(fā)之后,肖特在2018年推出了第一代SCHOTT RealView™。這款高端產(chǎn)品在上市一年后便榮獲了享有盛譽(yù)的2019年SID顯示行業(yè)獎(jiǎng)(SID Display Industry Award 2019)。

關(guān)于肖特

肖特是特種玻璃、微晶玻璃和相關(guān)高科技材料領(lǐng)域的領(lǐng)先國際技術(shù)集團(tuán)。公司積累了超過130年的經(jīng)驗(yàn),是眾多行業(yè)的創(chuàng)新合作伙伴,其中包括家用電器、醫(yī)藥、電子、光學(xué)、生命科學(xué)、汽車和航空業(yè)。肖特在全球34個(gè)國家和地區(qū)設(shè)有生產(chǎn)基地和銷售辦事處。公司目前擁有員工超過15500名,2017/2018財(cái)年的銷售額為20.8億歐元。總部位于德國美因茨的母公司SCHOTT  AG由卡爾蔡司基金會(Carl  Zeiss  Foundation)全資擁有?？柌趟净饡堑聡鴼v史最悠久的私立基金會之一,同時(shí)也是德國規(guī)模最大的科學(xué)促進(jìn)基金會之一。作為一家基金公司,肖特對其員工,社會和環(huán)境負(fù)有特殊責(zé)任。

關(guān)于 EV集團(tuán)(EVG)

EV集團(tuán)(EVG)是為半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、化合物半導(dǎo)體、功率器件和納米技術(shù)器件制造提供設(shè)備與工藝解決方案的領(lǐng)先供應(yīng)商。其主要產(chǎn)品包括:晶圓鍵合、薄晶圓處理、光刻/納米壓印(NIL)與計(jì)量設(shè)備,以及涂膠機(jī)、清洗機(jī)和檢測系統(tǒng)。EV集團(tuán)成立于1980年,可為遍及全球的眾多客戶和合作伙伴網(wǎng)絡(luò)提供各類服務(wù)與支持。

SmartNIL,NILPhotonics及EV Group標(biāo)識是  EV Group的注冊商標(biāo), SCHOTT RealView™是 SCHOTT的注冊商標(biāo)。