9月21日,日本愛發(fā)科10.5代光罩掩膜版生產(chǎn)基地開工儀式在合肥高新區(qū)舉行。據(jù)介紹,愛發(fā)科光罩掩膜版項(xiàng)目總投資5億元,占地25畝,是全國(guó)第一座10.5代光罩掩膜版生產(chǎn)基地。
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