每小時(shí)晶圓產(chǎn)能可達(dá)300片 實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體光刻行業(yè)更高水平生產(chǎn)
佳能※1于1970年發(fā)售了日本首臺(tái)半導(dǎo)體光刻機(jī)「PPC-1※2」,今年是佳能正式投入半導(dǎo)體光刻機(jī)領(lǐng)域50周年。半導(dǎo)體器件被廣泛應(yīng)用于從智能手機(jī)到汽車等各個(gè)領(lǐng)域,在其制造過(guò)程中半導(dǎo)體光刻機(jī)必不可少。隨著數(shù)字技術(shù)的迅速