單晶襯底

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國產(chǎn)6英寸碳化硅晶片誕生打破國外壟斷

日前，中國科學(xué)院物理研究所研究員陳小龍研究組與北京天科合達(dá)藍(lán)光半導(dǎo)體有限公司(以下簡稱天科合達(dá))合作，解決了6英寸擴(kuò)徑技術(shù)和晶片加工技術(shù)，成功研制出了6英寸碳化硅單晶襯底。

半導(dǎo)體
2015-01-13

碳化硅 6英寸單晶襯底