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KLA-Tencor公司針對(duì)7納米以下的IC制造推出五款圖案成型控制系統(tǒng)
KLA-Tencor公司今天針對(duì)7納米以下的邏輯和尖端內(nèi)存設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn)推出了五款圖案成型控制系統(tǒng)，以幫助芯片制造商實(shí)現(xiàn)多重曝光技術(shù)和EUV光刻所需的嚴(yán)格工藝寬容度。
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