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復(fù)享光學(xué)AR-Meta首次實(shí)現(xiàn)超構(gòu)透鏡全面光學(xué)量測(cè)分析
近日，上海市科委“優(yōu)秀技術(shù)帶頭人”計(jì)劃的多個(gè)項(xiàng)目完成專家評(píng)審。該計(jì)劃旨在選拔和培養(yǎng)一批進(jìn)入世界科技前沿的學(xué)術(shù)帶頭人和引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新的技術(shù)帶頭人，促進(jìn)其建設(shè)高水平科研梯隊(duì)和創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)，加快建設(shè)具有全球影響力的科技創(chuàng)新中心。其中，由復(fù)享光學(xué)承擔(dān)的“超透鏡檢測(cè)分析設(shè)備的研制”項(xiàng)目通過專家組評(píng)審，順利結(jié)項(xiàng)。
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復(fù)享光學(xué)承擔(dān)的上海市2022年度“科技創(chuàng)新行動(dòng)計(jì)劃” - 0909
本次復(fù)享光學(xué)承擔(dān)的項(xiàng)目，屬于“科學(xué)儀器研制開發(fā)”專題項(xiàng)目。該項(xiàng)目基于共焦拉曼光譜，發(fā)展面向GAA-FET制程檢測(cè)的拉曼光譜技術(shù)，探索在GAA-FET制備過程中多層納米薄膜的厚度、應(yīng)力、界面起伏、橫向刻蝕和溝道載流子遷移率等關(guān)鍵參數(shù)的量測(cè)技術(shù)，形成一套具有重大產(chǎn)業(yè)應(yīng)用前景的專業(yè)高端拉曼光譜設(shè)備。
