微納加工技術(shù)

MEMS陀螺儀在各領(lǐng)域都有哪些應(yīng)用？案例分析

MEMS陀螺儀是第三代陀螺儀的代表，MEMS隨著微機械電子系統(tǒng)(MEMS)等學(xué)科的興起，又基于科里奧利振動效應(yīng)和微納加工技術(shù)，MEMS陀螺儀開始出現(xiàn)。ER-MG2-50/100作為MEMS陀螺儀中的高精度陀螺儀，具有體積小、重量輕、環(huán)境適應(yīng)性強、價格低廉、便于批量生產(chǎn)等特點，解決了第一代和第二代陀螺儀體積質(zhì)量大、成本高的缺點，精度和穩(wěn)定性不斷提高。