我國(guó)壓力傳感器市場(chǎng)主要是工業(yè)自動(dòng)化控制領(lǐng)域,和汽車領(lǐng)域。據(jù)羅百輝介紹,在工控領(lǐng)域里目前我國(guó)絕大部份采用擴(kuò)散硅壓力傳感器、應(yīng)變片式壓力傳感器和濺射薄膜壓力傳感器,而國(guó)內(nèi)廠家生產(chǎn)面廣量大的就是擴(kuò)散硅壓力傳
我國(guó)壓力傳感器市場(chǎng)主要是工業(yè)自動(dòng)化控制領(lǐng)域,和汽車領(lǐng)域。據(jù)羅百輝介紹,在工控領(lǐng)域里目前我國(guó)絕大部份采用擴(kuò)散硅壓力傳感器、應(yīng)變片式壓力傳感器和濺射薄膜壓力傳感器,而國(guó)內(nèi)廠家生產(chǎn)面廣量大的就是擴(kuò)散硅壓力傳
我國(guó)壓力傳感器市場(chǎng)主要是工業(yè)自動(dòng)化控制領(lǐng)域,和汽車領(lǐng)域。據(jù)羅百輝介紹,在工控領(lǐng)域里目前我國(guó)絕大部份采用擴(kuò)散硅壓力傳感器、應(yīng)變片式壓力傳感器和濺射薄膜壓力傳感器,而國(guó)內(nèi)廠家生產(chǎn)面廣量大的就是擴(kuò)散硅壓力傳
陶瓷具有高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和震動(dòng)的功能。陶瓷的熱穩(wěn)定性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達(dá)-40℃~135℃,而且具有測(cè)量的高精度、高穩(wěn)定性。電器絕緣程度大于2KV,輸出信號(hào)強(qiáng),長(zhǎng)期穩(wěn)定性好。
利用壓阻效應(yīng)原理,采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴(kuò)散,沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向,制成應(yīng)變電阻,構(gòu)成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性,在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工,就制成了一個(gè)集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測(cè)于
在制糖等輕化工程中,為了全面實(shí)現(xiàn)工藝過程及質(zhì)量的自動(dòng)控制,需要對(duì)溶液的密度、濃度等萬(wàn)分進(jìn)行測(cè)量,而密度的在線測(cè)量與濕度、流量、壓力及液位等非電量測(cè)量相比,較為落后。諧振式和奧我力式密度計(jì)工作原理復(fù)雜,價(jià)格昂
文中介紹通過采用MEMS(micro electro mechanical systems)技術(shù)制造的硅壓阻力敏元件結(jié)合智能集成化信號(hào)調(diào)理技術(shù)設(shè)計(jì)了適合批量制造的小型化堅(jiān)固封裝的通用汽車壓力傳感器。通過智能調(diào)理技術(shù)將傳感器的零位和滿度進(jìn)行
1、引言 經(jīng)過幾十年的研究與開發(fā),MEMS器件與系統(tǒng)的設(shè)計(jì)制造工藝逐步成熟,但產(chǎn)業(yè)化、市場(chǎng)化的MEMS器件的種類并不多,還有許多MEMS仍未能大量走出實(shí)驗(yàn)室,充分發(fā)揮其在軍事與民品中的潛在應(yīng)用,還需要研究和解決許