我國壓力傳感器市場主要是工業(yè)自動化控制領域,和汽車領域。據(jù)羅百輝介紹,在工控領域里目前我國絕大部份采用擴散硅壓力傳感器、應變片式壓力傳感器和濺射薄膜壓力傳感器,而國內廠家生產面廣量大的就是擴散硅壓力傳
我國壓力傳感器市場主要是工業(yè)自動化控制領域,和汽車領域。據(jù)羅百輝介紹,在工控領域里目前我國絕大部份采用擴散硅壓力傳感器、應變片式壓力傳感器和濺射薄膜壓力傳感器,而國內廠家生產面廣量大的就是擴散硅壓力傳
我國壓力傳感器市場主要是工業(yè)自動化控制領域,和汽車領域。據(jù)羅百輝介紹,在工控領域里目前我國絕大部份采用擴散硅壓力傳感器、應變片式壓力傳感器和濺射薄膜壓力傳感器,而國內廠家生產面廣量大的就是擴散硅壓力傳
陶瓷具有高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和震動的功能。陶瓷的熱穩(wěn)定性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達-40℃~135℃,而且具有測量的高精度、高穩(wěn)定性。電器絕緣程度大于2KV,輸出信號強,長期穩(wěn)定性好。
利用壓阻效應原理,采用集成工藝技術經過摻雜、擴散,沿單晶硅片上的特點晶向,制成應變電阻,構成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學特性,在同一切硅材料上進行各向異性微加工,就制成了一個集力敏與力電轉換檢測于
在制糖等輕化工程中,為了全面實現(xiàn)工藝過程及質量的自動控制,需要對溶液的密度、濃度等萬分進行測量,而密度的在線測量與濕度、流量、壓力及液位等非電量測量相比,較為落后。諧振式和奧我力式密度計工作原理復雜,價格昂
文中介紹通過采用MEMS(micro electro mechanical systems)技術制造的硅壓阻力敏元件結合智能集成化信號調理技術設計了適合批量制造的小型化堅固封裝的通用汽車壓力傳感器。通過智能調理技術將傳感器的零位和滿度進行
1、引言 經過幾十年的研究與開發(fā),MEMS器件與系統(tǒng)的設計制造工藝逐步成熟,但產業(yè)化、市場化的MEMS器件的種類并不多,還有許多MEMS仍未能大量走出實驗室,充分發(fā)揮其在軍事與民品中的潛在應用,還需要研究和解決許