掃描光柵微鏡

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  • 基于FR4的電磁式掃描光柵微鏡結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計

    掃描光柵微鏡的轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)通常設(shè)計成扭振系統(tǒng) ,通過扭轉(zhuǎn)梁實現(xiàn)微鏡轉(zhuǎn)動時的結(jié)構(gòu)抗扭 。將扭轉(zhuǎn)梁設(shè)計成折疊形式 ,可以減小扭轉(zhuǎn)梁的抗扭剛度 ,但扭轉(zhuǎn)振型仍有可能未成為系統(tǒng)的一階主振型。因此 ,通過提高系統(tǒng)鏡板的轉(zhuǎn)動慣量和設(shè)置剛度調(diào)節(jié)棒 , 改進(jìn)系統(tǒng)的振型模態(tài)分布 。最后 ,對優(yōu)化后結(jié)構(gòu)進(jìn)行了理論計算和基于ANSYS的有限元軟件仿真 , 結(jié)果均表明優(yōu)化后結(jié)構(gòu)能有效改善微鏡的扭轉(zhuǎn)諧振特征。