TDI(Time Delay Integration)意思是時間延遲積分,適用于高速移動的物體。TDI是一種掃描方法,與其他視頻掃描方法相比,它可以顯著提高圖像亮度,并且減小了像元之間響應的不均勻性。它可以在弱光下實現(xiàn)更高的掃描速度,或者在常規(guī)速度下降低照明水平。多用于晶圓,PCB和LCD面板檢查。
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